等離子體工藝廣泛應用于半導體制造中。比如,IC制造中的所有圖形化刻蝕均為等離子體刻蝕或干法刻蝕,等離子體增強式化學氣相沉積(PECVD)和高密度等離子體化學氣相沉積 (HDP CVD)廣泛用于電介質
2022-11-15 09:57:312626 等離子體圖形化刻蝕過程中,刻蝕圖形將影響刻蝕速率和刻蝕輪廓,稱為負載效應。負載效應有兩種:宏觀負載效應和微觀負載效應。
2023-02-08 09:41:262467 。常見的干法刻蝕設備有反應離子刻蝕機(RIE)、電感耦合等離子體刻蝕機(ICP)、磁性中性線等離子體刻蝕機(NLD)、離子束刻蝕機(IBE),本文目的對各刻蝕設備的結構進行剖析,以及分析技術的優缺點。
2024-01-20 10:24:561114 當高頻發生器接通電源后,高頻電流I通過感應線圈產生交變磁場(綠色)。開始時,管內為Ar氣,不導電,需要用高壓電火花觸發,使氣體電離后,在高頻交流電場的作用下,帶電粒子高速運動,碰撞,形成“雪崩”式放電,產生等離子體氣流。
2019-10-09 09:11:46
Nettersheim 博士介紹了 piezobrush 的優勢。“TDK 的 CeraPlas 使 piezobrush 這樣的小型便攜式等離子體發生器成為可能。我們能夠將電源和驅動電路設計為一個非常緊湊
2022-05-18 15:16:16
等離子弧切割機是借助等離子切割技術對金屬材料進行加工的機械。等離子切割是利用高溫等離子電弧的熱量使工件切口處的金屬部分或局部熔化(和蒸發),并借高速等離子的動量排除熔融金屬以形成切口的一種加工方法。
2019-09-27 09:01:37
等離子發生器的主要工作原理是將低電壓通過升壓電路升至正高壓及負高壓,利用正高壓及負高壓電離空氣產生大量的正離子及負離子,負離子的數量大于正離子的數量。
2019-09-30 09:00:48
等離子和液晶電視的區別:這是最詳細的一篇介紹了。前言:現如今對于“平板電視”這個概念很多人都應該已經熟悉了,但是如果真打算買一臺平板電視,究竟是選擇液晶電視好,還是選擇等離子電視好呢?這可能是很多
2008-06-10 14:58:24
提供格外亮麗、均勻平滑的畫面和前所未有的更大觀賞角度。下面我們來介紹一下等離子體顯示器件的工作原理。 一、等離子體放電簡介 等離子體是物質存在的第四種形態。當氣體被加熱到足夠高的溫度,或受到高能
2011-01-06 16:09:23
等離子顯示器的工作原理是什么?PDP等離子顯示器有哪些特點?等離子顯示器比傳統的顯像管和LCD液晶顯示器具有哪些技術優勢?
2021-06-07 06:06:32
的發展較為迅速,但國內還沒有相關的產品和應用報導。本文介紹日本伊世電子株式會社(ISE ELECTRONIC CORP.)推出的GU128×64等離子顯示屏的特性和接口電路,并根據應用實例,簡單
2018-12-07 10:32:11
主要介紹了等離子清洗的原理、等離子清洗的特點和優勢以及等離子清洗在生產中的實際應用效果。【關鍵詞】:等離子;;清洗;;應用【DOI】:CNKI:SUN:JDYG.0.2010-01-006【正文快照
2010-06-02 10:07:40
等離子電視(PDP)和液晶電視(LCD)都屬于平板電視,它們就像雙胞胎,雖然表面上十分相像,但本質上卻有很大差別。其中兩者的最大的區別在于使用的面板不同,也就成像原理大不一樣。等離子電視是依靠高電壓
2009-05-24 18:07:54
等離子顯示屏是由相距幾百微米的兩塊玻璃板,中間排列大量的等離子腔密封組成的。每個等離子腔都充有惰性氣體,通過對其施加電壓來產生紫外光,從而激勵顯示屏上的紅綠藍三基色熒光粉發光。每個等離子腔體等效于一個像素,其工作機理類似普通日光燈。由這些像素的明暗和顏色變化,來合成各種灰度和色彩的電視圖像。
2019-10-17 09:10:18
等離子電視工作原理與日光燈很相似,等離子電視也叫3D等離子電視,它采用了等離子管作為發光元件,屏幕上每一個等離子管對應一個像素,屏幕以玻璃作為基板,基板間隔一定距離,四周經氣密性封接形成一個個放電
2014-02-10 18:20:48
等離子電視耗電嗎?耗電量會有多大? 等離子電視的標稱耗電量都很大,但是事實上等離子的耗電量會隨著畫面的明暗而變化,所以等離子的整體耗電量
2009-05-24 17:59:22
介紹說,選等離子電視最主要是看亮度、顏色和反應速度幾項指標。等離子屏幕的基本工作原理跟CRT和日光燈有些像。簡單來說,等離子屏幕是由多個放電小空間所排列而成,每一個放電小空間稱為cell,而每一個
2009-12-22 09:44:25
等離子的使用壽命是多久? 答: 等離子電視的使用壽命大約為6
2009-05-24 18:00:55
等離子適合什么環境? 由于先天的成像原理,等離子電視比較適合較暗的環境,那些亮麗的場所并不適合等離子電視使用。
2009-05-24 18:10:24
`電路板廠家生產高密度多層板要用到等離子體切割機蝕孔及等離子體清洗機.大致的生產工藝流程圖為:PCB芯板處理→涂覆形成敷層劑→貼壓涂樹脂銅箔→圖形轉移成等離子體蝕刻窗口→等離子體切割蝕刻導通孔→化學
2017-12-18 17:58:30
Nettersheim 博士介紹了 piezobrush 的優勢。“TDK 的 CeraPlas 使 piezobrush 這樣的小型便攜式等離子體發生器成為可能。我們能夠將電源和驅動電路設計為一個非常緊湊
2022-05-17 16:41:13
分別為:等離子體、離子銑和反應離子刻蝕。等離子刻蝕等離子體刻蝕像濕法刻蝕一樣是一種化學工藝,它使用氣體和等離子體能量來進行化學反應。二氧化硅刻蝕在兩個系統中的比較說明了區別所在。在濕法刻蝕二氧化硅中,氟在
2018-12-21 13:49:20
1. 低溫等離子體及廢氣處理原理低溫等離子體技術是一門涉及生物學、高能物理、放電物理、放電化學反應工程學、高壓脈沖技術和環境科學的綜合性學科,是治理氣態污染物的關鍵技術之一,因其高效、低能耗、處理
2022-04-21 20:29:20
同尺寸的等離子為什么比液晶便宜?同尺寸的等離子為什么比液晶便宜,因為等離子的亮度和看電視的效果比液晶好象還要好些? 造成這種情況的成因有
2009-05-24 18:13:16
如何去等離子顯示屏GU128×64的接口設計?等離子顯示屏有什么應用?
2021-06-01 06:41:49
使用等離子清洗技術清洗晶圓去除晶圓表面的有機污染物等雜質,但是同時在等離子產生過程中電極會出現金屬離子析出,如果金屬離子附著在晶圓表面也會對晶圓造成損傷,如果在使用等離子清洗技術清洗晶圓如何規避電極產生的金屬離子?
2021-06-08 16:45:05
各位大佬:尋找12V車載等離子電路原理圖
2021-03-30 15:38:07
超高精度。該技術實現了前所未有的控制范圍,均勻的能量分配,以及對不斷變化的負載條件的快速適配。受益于射頻能量的令人振奮的應用之一是等離子照明,這將成為照明市場的下一個發展方向,里程碑式產品包括標準飛利浦
2017-12-14 10:24:22
固態等離子燈由微波射頻能量供電,等離子體照明通常也稱為發光等離子體(LEP),正快速發展成為主流技術,即將取代眾多應用中的LED和高壓氣體放電(HID)照明,在這些應用中,等離子照明的性能優于傳統
2018-02-07 10:15:47
1.引言微波測量方法是將電磁波作為探測束入射到等離子體中,對等離子體特性進行探測,不會對等離子體造成污染。常規微波反射計也是通過測量電磁波在等離子體截止頻率時的反射信號相位來計算等離子密度。當等離子
2019-06-10 07:36:44
【作者】:呂鵬;劉春芳;張潮海;趙永蓬;王騏;賈興;【來源】:《強激光與粒子束》2010年02期【摘要】:描述了Z箍縮放電等離子體極紫外光源系統中的主脈沖電源,給出了主電路拓撲結構,重點介紹了三級磁
2010-04-22 11:41:29
今天有網上看到一貼子,說如果沒有全高清液晶電視的話,買了高清液晶電視看起來還不如普通和電視.但等離子電視也有他的缺點,請問:液晶電視與等離子電視哪種更好?
2008-06-10 14:47:42
,專家們說:“液晶電視對人眼的損害是等離子電視的4倍!”。 北京協和醫院眼科副主任醫師譚柯介紹,調研共選取了32個用戶,上午小組人員看某品牌電視,然后檢查,下午再看另一某品牌電視,然后再檢查。試驗
2008-10-31 16:07:40
的每個角落。然而面對平板電視撲面而來的大潮,我們真的做好準備了嗎?對它真的夠了解嗎?時下各大媒體中對平板電視的介紹與選購的文章不勝每舉。但觀點不一,這里本人也發表一下拙見。一、液晶、等離子和Led各有
2012-02-15 20:07:08
基于電池供電的等離子打火機。制作新奇打印方式的等離子打印機!包含相關圖文說明、代碼、線路圖
2023-09-22 07:54:27
表面波等離子體激勵源設計,不看肯定后悔
2021-04-22 07:01:33
怎么實現等離子電源的EMC設計?PCB布板時需要注意什么?
2021-04-09 06:54:43
選購等離子電視的幾大誤區大屏幕平板電視正受到越來越多的消費者關注與選擇,眾多消費者認為液晶電視比等離子更節能、壽命更長等優勢,似乎成為了消費者的選擇液晶電視的主要原因。實際上選購等離子電視有以下二大
2009-12-16 09:36:34
等離子弧焊及切割技術
2009-04-17 14:24:0058 等離子技術簡介
2009-04-17 14:24:5920 人類生活對能源的需求核聚變及受控核聚變原理等離子體約束的基本問題等離子體約束的各種模式等離子體輸運與能量約束定標約束改善與邊緣局域模控制總結和
2010-05-30 08:26:5614 等離子技術與集成電路?? 本文介紹,改善引線接合強度的關鍵的等離子
2006-04-16 21:58:25524 什么是叫等離子電視(PDP)?
等離子電視(PDP)的定義:
等離子顯示屏,即Plasma Display Pan
2008-10-30 23:05:133566 什么是等離子電視機
等離子顯示屏PDP是一種利用氣體放電的顯示裝置,這種屏幕采用了等離子腔作為發光元件。大量的等離子腔排列
2008-10-30 23:13:022078 什么是等離子電視
等離子電視(PDP),是在兩張薄玻璃板之間充填混合氣體,施加電壓使之產生離子氣體,然后使等離子氣體放電,與基板中的熒光體發生反應,產
2009-05-24 22:03:281838 等離子類型 pccontent> 等離子(簡稱PDP)是采用近幾年來高速發展的等離子平面屏幕技術的新—代
2009-12-31 16:22:49547 大屏幕等離子彩電維修技巧
等離子彩電是用等離子屏做為顯像器件的。等離子彩電一般由兩部分組成:1.等離子屏;2.各個廠家開發的電路及外殼。&
2010-02-09 11:53:465440 等離子電視屏幕保養技巧/等離子電視維護保養指南
隨著等離子電視的普遍降價,等離子的普及率不斷提高,同時質量問題也
2010-02-09 12:04:431349 什么是等離子電視?
等離子電視又稱PDP(Plasma Display Panel)電視,等離子電視是利用惰性氣體在一定電壓的作用下產生氣體放電
2010-02-09 12:05:271082 什么是等離子的畫面縱橫比
是指屏幕畫面縱向和橫向的比例,一般為16:9或4:3兩種。由于等離子多用來作為家庭影院的輸出設
2010-02-09 12:31:08616 等離子入門知識
一、什么是等離子 等離子:隨著溫度的升高,一般物質依次表現為固體、液體和氣體。它們統稱物質的三態。當
2010-02-09 12:33:111194 什么是等離子移動車/電視吊架
等離子移動車 等離子移動車是方便移動等離子電視的一個裝置,等離子移動車分普通
2010-03-26 11:25:01798 等離子電視,等離子電視原理,等離子電視術語大全
等離子電視技術原理 就技術角度而言,由于PDP中發光的等離子管在平面
2010-03-27 14:48:37901 等離子電視的9大優點是什么?
等離子電視的尺寸一般都在40英寸以上,所以都以“大塊頭”著稱,放在家里也特有面
2010-04-09 16:34:081056 等離子顯示器輸入接口簡介
等離子(PDP)中文叫等離子顯示器,是采用近幾年來高速發展的等離子平面屏幕技術的新—代顯示設備,等離子顯示器
2010-05-12 10:59:111519 一、 什么叫等離子、等離子屏和等離子電視 1、等離子:隨著溫度的升高,一般物質依次表現為固體、液體和氣體。它們統稱物質的三態。當氣體溫度進一步升高時,其中
2010-08-26 09:25:012896 每個HBLED制造商的目標都是花更少的錢獲得更多的光輸出。面對強大的競爭和眾多技術障礙,至關重要的是所有的生產步驟的推進都要產生最佳的效果。優化的 等離子 刻蝕提供了幾種方
2011-10-31 12:10:371176 中微半導體設備有限公司(以下簡稱“中微”)于 SEMICON China 展會期間宣布,中微第二代等離子體刻蝕設備 Primo AD-RIE? 正式裝配國內技術最先進的集成電路芯片代工企業中芯國際
2012-03-22 11:26:421066 等離子電視原理,網絡很少的資料,了解些等離子電視原理,可以對維修有點幫助!
2015-12-31 15:27:100 本文介紹了等離子平板顯示(PDP)技術與工作原理,以及等離子平板顯示的特點和發光材料的簡介。
2017-10-17 15:49:5031 ,根據搜集到的信息和技術文獻,綜述了國內外等離子體天線技術的發展概況,并介紹了國外一些有代表性的等離子體天線專利技術。
2018-06-01 10:31:004428 中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱中微)正式發布了第一代電感耦合等離子體刻蝕設備Primo nanova,用于大批量生產存儲芯片和邏輯芯片的前道工序。該設備采用了中微具有自主知識產權的電感耦合
2018-04-18 05:49:002085 本文開始介紹了等離子電視的定義、等離子電視優缺點以及它的組成,其次闡述了液晶電視的概念以及液晶電視的優缺點,最后介紹了等離子電視和液晶電視的區別。
2018-03-20 14:42:1522013 本文開始介紹了等離子電視的概念和等離子電視的工作原理,其次闡述了等離子屏顯示原理及等離子電視使用注意事項,最后介紹了等離子電視維修方法。
2018-03-20 15:03:1239277 本文開始介紹了等離子電視結構與成像原理及等離子電視的發展,其次分析了等離子電視是不是全面停產了,最后對等離子電視淘汰或停產的原因進行了分析。
2018-03-20 15:30:4195829 國內的中微電子已經研發成功5nm等離子刻蝕機,并通過了臺積電的認證,將用于全球首條5nm工藝。
2018-12-20 08:55:2624111 5納米,相當于頭發絲直徑的二萬分之一,將成為集成電路芯片上的最小線寬。臺積電計劃明年進行5納米制程試產,預計2020年量產。最近,中微半導體公司收到一個好消息:其自主研制的5納米等離子體刻蝕
2019-01-01 10:44:003862 中微半導體設備(上海)有限公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證,性能優良,將用于全球首條5納米制程生產線。
2018-12-29 08:48:144742 鎢極接電源負端,噴嘴接電源正端,等離子弧體產生在鎢極與噴嘴之間,在等離子氣體壓送下,弧柱從噴嘴中噴出,形成等離子焰。
2019-07-09 14:18:1513454 如果大家家里面的電視機是等離子電視機的話,大家有沒有遇見過等離子電視機的屏幕壞掉的情況呢!今天小編就為大家介紹一下等離子屏幕維修的方法,希望對大家使用等離子電視機有所幫助。
2019-11-15 09:32:022338 近日,泛林集團發布了一項革新性的等離子刻蝕技術及系統解決方案,旨在為芯片制造商提供先進的功能和可擴展性,以滿足未來的創新需求。泛林集團開創性的Sense.i 平臺基于小巧且高精度的架構,能提供
2020-03-10 08:44:552204 本文首先介紹了等離子電視機常見故障及排查方法,其次闡述了等離子電視機的使用壽命,最后介紹了等離子電視機的保養方法。
2020-03-26 10:40:2218902 本文首先分析了等離子電視是否可以投屏,其次闡述了等離子電視壞了的維修方法,最后介紹了等離子電視工作原理。
2020-03-26 10:55:178503 中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱“中微”)在本周舉辦的SEMICON China期間正式發布了第一代電感耦合等離子體刻蝕設備Primo nanova?,用于大批量生產存儲芯片和邏輯芯片的前道工序。
2020-04-22 17:20:244109 摘要:等離子技術在印制電路板行業中主要作為處理鉆孔殘膠的一種重要手段。文章介紹了PCB等離子清洗設備的維護方法。在等離子清洗設備在使用中,會遇到除膠清洗達不到要求、設備本身故障率異常等問題。如何保證
2020-09-24 10:52:297014 北方華創(Naura)官方宣布,ICP等離子刻蝕機第1000腔交付儀式近日在北京亦莊基地舉行,NAURA刻蝕機研發團隊見證了這一歷史性時刻。
2020-12-11 15:30:092176 在集成電路的制造過程中,刻蝕就是利用化學或物理方法有選擇性地從硅片表面去除不需要的材料的過程。從工藝上區分,刻蝕可以分為濕法刻蝕和干法刻蝕。前者的主要特點是各向同性刻蝕;后者是利用等離子體來進行
2020-12-29 14:42:588547 尹志堯表示,公司的等離子體刻蝕設備已應用在國際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進的集成電路加工制造生產線和先進封裝生產線。
2021-04-09 14:28:432052 近日,微公司董事長、總經理尹志堯透露,公司研發的等離子刻蝕設備已經進入客戶的5nm生產線。 尹志堯表示,公司的等離子體刻蝕設備已應用在國際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進
2021-04-11 11:27:422572 等離子清洗是通過使用稱為等離子體的電離氣體從物體表面去除所有有機物質的過程。這通常在使用氧氣和/或氬氣的真空室中進行。清潔過程是一種環境安全的過程,因為不涉及刺激性化學品。等離子體通常會在被清潔的表面上留下自由基,以進一步增加該表面的粘合性。
2021-12-22 14:35:074946 等離子體輔助刻蝕的基礎簡單;使用氣體輝光放電來離解和離子化相對穩定的分子,形成化學反應性和離子性物質,并選擇化學物質,使得這些物質與待蝕刻的固體反應,形成揮發性產物。等離子體蝕刻可分為單晶片和分批
2022-02-14 15:22:071612 由于其平行照明,WLI PL非常適合用于測量具有高深寬比的等離子切割刻蝕溝槽,因為大部分光到達了刻蝕結構的底部,因此可以測量深度。
2022-06-13 10:14:08714 與濕式刻蝕比較,等離子體刻蝕較少使用化學試劑,因此也減少了化學藥品的成本和處理費用。
2022-12-29 17:28:541463 刻蝕有三種:純化學刻蝕、純物理刻蝕,以及介于兩者之間的反應式離子刻蝕(ReactiveIonEtch,RIE)。
2023-02-20 09:45:072586 氮化鎵作為一種寬帶隙半導體,已被用于制造發光二極管和激光二極管等光電器件。最近已經開發了幾種用于氮化鎵基材料的
不同干蝕刻技術。電感耦合等離子體刻蝕因其優越的等離子體均勻性和強可控性而備受關注
2023-02-22 15:45:410 從下圖中可以看出結合使用XeF2氣流和氯離子轟擊的刻蝕速率最高,明顯高于這兩種工藝單獨使用時的刻蝕速率總和。
2023-02-23 17:17:202706 等離子體最初用來刻蝕含碳物質,例如用氧等離子體剝除光刻膠,這就是所謂的等離子體剝除或等離子體灰化。等離子體中因高速電子分解碰撞產生的氧原子自由基會很快與含碳物質中的碳和氫反應,形成易揮發的co,co2和h2o并且將含碳物質有效地從表面移除。這個過程是在帶有刻蝕隧道的桶狀系統中進行的(見下圖)。
2023-03-06 13:50:481074 壓力主要控制刻蝕均勻性和刻蝕輪廓,同時也能影響刻蝕速率和選擇性。改變壓力會改變電子和離子的平均自由程(MFP),進而影響等離子體和刻蝕速率的均勻性。
2023-04-17 10:36:431922 氧等離子體和氫等離子體都可用于蝕刻石墨烯。兩種石墨烯氣體等離子刻蝕的基本原理是通過化學反應沿石墨烯的晶面進行刻蝕。不同的是,氧等離子體攻擊碳碳鍵后形成一氧化碳、二氧化碳等揮發性氣體,而氫等離子體則形成甲烷氣體并與之形成碳氫鍵。
2022-06-21 14:32:25391 等離子體工藝是干法清洗應用中的重要部分,隨著微電子技術的發展,等離子體清洗的優勢越來越明顯。文章介紹了等離子體清洗的特點和應用,討論了它的清洗原理和優化設計方法。最后分析了等離子體清洗工藝的關鍵技術及解決方法。
2023-10-18 17:42:36448 眾所周知,化合物半導體中不同的原子比對材料的蝕刻特性有很大的影響。為了對蝕刻速率和表面形態的精確控制,通過使用低至25nm的薄器件阻擋層的,從而增加了制造的復雜性。本研究對比了三氯化硼與氯氣的偏置功率,以及氣體比對等離子體腐蝕高鋁含量AlGaN與AlN在蝕刻速率、選擇性和表面形貌方面的影響。
2023-12-15 14:28:30227 對DRIE刻蝕,是基于氟基氣體的高深寬比硅刻蝕技術。與RIE刻蝕原理相同,利用硅的各向異性,通過化學作用和物理作用進行刻蝕。不同之處在于,兩個射頻源:將等離子的產生和自偏壓的產生分離
2024-01-14 14:11:59512 等離子發動機原理: 等離子發動機是一種利用電磁力將離子加速并噴射出來產生推力的發動機。它主要包括等離子體產生器、離子加速器和噴嘴等組成。下面將詳細介紹等離子發動機的工作原理。 生成等離子體:等離子
2024-02-14 18:18:003173
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