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我國CMP拋光材料國產化進程加快,國內CMP材料市場迎來發展機遇

牽手一起夢 ? 來源:前瞻產業研究院 ? 作者:佚名 ? 2020-09-04 14:08 ? 次閱讀

化學機械拋光(CMP)是化學腐蝕與機械磨削相結合的一種拋光方法,是集成電路制造過程中實現晶圓表面平坦化的關鍵工藝。從CMP材料的細分市場來看,拋光液和拋光墊的市場規模占比最大。從全球企業競爭格局來看,全球拋光液和拋光墊市場長期被美國和日本企業所壟斷。未來,隨著國內半導體市場不斷增長和國家政策對“半導體和集成電路”產業的支持,我國CMP拋光材料國產化、本土化的供應進程將加快。

1、拋光液和拋光墊是主要CMP材料

化學機械拋光(CMP)是化學腐蝕與機械磨削相結合的一種拋光方法,是集成電路制造過程中實現晶圓表面平坦化的關鍵工藝。CMP拋光材料具體可分為拋光液、拋光墊、調節器、清潔劑等。目前,拋光液和拋光墊的市場規模占比最大,2018年,拋光液和拋光墊占CMP拋光材料市場的比重分別為49%和33%。

我國CMP拋光材料國產化進程加快,國內CMP材料市場迎來發展機遇

2019年,全球拋光墊和拋光液的市場規模分別為7億美元和12億美元,較2018年有所增長。

 圖表2:2016-2019年全球拋光墊/液的市場規模(單位:億美元)

2、全球市場被美、日企業壟斷

在企業競爭格局中,全球拋光液和拋光墊市場長期被美國和日本企業所壟斷,例如,在拋光液市場,美國Cabot公司的市場占有率達33%;在拋光墊市場,美國DOW公司的市場份額達79%。在我國,拋光液的進口依賴局面已由安集科技公司打破,鼎龍股份的拋光墊產品也在持續開拓市場。

圖表3:全球CMP拋光液市場競爭格局(單位:%)

3、國內CMP材料市場迎來發展機遇

由于工藝制程和技術節點不同,每片晶圓在生產過程中都會經歷幾道甚至幾十道CMP拋光工藝。隨著未來芯片尺寸不斷減小的趨勢,CMP拋光的步驟將不斷增加,對CMP材料的需求也將不斷增加。鑒于中國大陸已是全球最大的半導體市場,半導體材料作為半導體產業的重要組成,未來的發展潛力巨大。

圖表4:CMP拋光步驟隨芯片尺寸的減小而不斷增加(單位:次)

同時,隨著國家政策對“半導體和集成電路”產業的支持,我國半導體材料國產化、本土化的供應進程將加快。2019年12月,據工信部發布的《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2019年版)》顯示,在集成電路應用領域,CMP拋光液和CMP拋光墊均有入選:

圖表5:《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2019年版)》-拋光材料入選明細

責任編輯:gt

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