ASML光刻機的工作原理及關鍵技術解析
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
光刻機
+關注
關注
31文章
1158瀏覽量
47583 -
ASML
+關注
關注
7文章
720瀏覽量
41351
原文標題：科普好文：光刻機的工作原理及關鍵技術
文章出處：【微信號：mwrfnet，微信公眾號：微波射頻網(wǎng)】歡迎添加關注！文章轉載請注明出處。
發(fā)布評論請先 登錄
相關推薦
除ASML之外的光刻機廠商們近況如何？
盡管ASML作為目前占據(jù)主導地位的光刻機廠商，憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵，主導著半數(shù)以上的市場份額，但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外
光刻機工藝的原理及設備
實際過程肯定沒這么簡單，上圖是ASML典型的沉浸式步進掃描光刻機為例來看下光刻機是怎么工作的——首先是激光器發(fā)光，經過矯正、能量控制器、光束成型裝置等之后進入光掩膜臺，上面放的就設計公
發(fā)表于 07-07 14:22
光刻機是干什么用的
把被攝物體的影像復制到底片上。 而ASML光刻機在做的光刻，我們稱之為微影制程，原理是將高能雷射光穿過光罩（reticle），將光罩上的電路圖形透過聚光鏡（projectionlens），將影像縮小
發(fā)表于 09-02 17:38
魂遷光刻，夢繞芯片，中芯國際終獲ASML大型光刻機 精選資料分享
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻機作為集成電路制造中最關鍵的設備，對芯片制作工藝有著決定性的影響，被譽為“超精密制造技術皇冠上的明珠”，根據(jù)之前中芯國際的公報，目...
發(fā)表于 07-29 09:36
asml光刻機股東是誰_asml光刻機股東介紹
本文首先介紹了asml公司，其次介紹了關于asml公司的股東以及各個股東的簡介，最后帶領大家了解一下荷蘭光刻機為什么受到青睞的厲害之處。
為什么只有ASML才能制造出頂級光刻機，其技術難度有多高
大家都知道，目前我國光刻機技術至少落后荷蘭ASML15年，目前荷蘭ASML的頂級光刻機可以達到7nm工藝，目前他們正大研發(fā)5nm工藝
提高光刻機性能的關鍵技術及光刻機的發(fā)展情況
作為光刻工藝中最重要設備之一，光刻機一次次革命性的突破，使大模集成電路制造技術飛速向前發(fā)展。了解提高光刻機性能的關鍵技術以及了解下一代
光刻機的工作原理以及關鍵技術
導讀：光刻是集成電路最重要的加工工藝，他的作用，如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關鍵技術，在整個芯片制造工藝中，幾乎每個工藝的實施，都離不開光刻的
光刻機巨頭ASML為什么能成功？
在芯片制造環(huán)節(jié)中，光刻機是核心設備。沒有光刻機，半導體或遭斷鏈危機，摩爾定律將停止，人類也就無法設計、制造和封裝硅芯片。放眼全球，一家叫做ASML（阿斯麥）的荷蘭公司市場占有率達80%，是行業(yè)的絕對
ASML壟斷第五代光刻機EUV光刻機：一臺利潤近6億
%，凈利潤達到36億歐元。全球光刻機主要玩家有ASML、尼康和佳能三家，他們占到了全球市場90%。 ASML由于技術領先，一家壟斷了第五代光刻機
中國有望獨立生產EUV光刻機,打破ASML壟斷
一提起ASML這家公司，就少不了對光刻機問題的討論，因為截至目前，ASML仍然是全球最領先的光刻機廠商。普通的DUV光刻機就不多說了，
中科院5nm光刻技術與ASML光刻機有何區(qū)別？
5nm光刻技術與ASML光刻機有何區(qū)別？ EUV光刻機產能如何？ 大飛_6g（聽友） 請問謝博士，EUV
除ASML之外的光刻機廠商們近況如何？
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/周凱揚）盡管ASML作為目前占據(jù)主導地位的光刻機廠商，憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵，主導著半數(shù)以上的市場份額，但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以
光刻機的工作原理和分類
? 本文介紹了光刻機在芯片制造中的角色和地位，并介紹了光刻機的工作原理和分類。? ? ? ?? 光刻機：芯片制造的關鍵角色 ? ?
工商網(wǎng)監(jiān)
評論