據麥姆斯咨詢報道，為半導體產業提供CMP（化學機械拋光）、晶圓減薄和晶圓表面拋光處理解決方案的全球領先供應商Axus Technology（以下簡稱“Axus”）近日宣布與美國企業Compound Photonics（也稱“CP Display”，以下簡稱“CP”）合作，以加速像素間距在5 μm以下的microLED進入大眾市場。CP是一家為增強現實和混合現實（AR/MR）提供緊湊型高性能微型顯示器解決方案的領先供應商。

Axus正與CP合作整合關鍵晶圓級工藝，以實現CP下一代AR眼鏡的2μm像素間距、1080p microLED顯示器的大規模量產。具體來講，Axus將部署其最先進的Capstone CMP系統，該系統集成了CMP后清洗技術、晶圓平坦化和表面處理工藝解決方案，成功將microLED晶圓與高性能CMOS背板進行晶圓級鍵合。

為了加速研發進程，Axus與CP將在CP位于美國亞利桑那州錢德勒的MicroLED Innovation Center for Augmented Reality Acceleration（MiARA）中建立該項目。百級潔凈室設施占地約15000平方英尺（約1394平方米），為Axus、CP和其他設備供應商提供基礎設施，以便在毗鄰全球領先半導體制造商的Silicon Desert進行先進工藝開發。

Axus先進的CMP工藝能力是實現CP擁有專利申請、小像素間距、外延基板microLED集成工藝方案的關鍵。Capstone CMP系統可滿足多晶圓的高可重復性，以及芯片內/晶圓內平坦化性能，可靠地實現microLED與CMOS背板晶圓之間的數百萬微米級電觸點的鍵合。這解決了量產工藝的關鍵要求，即保證生產出的微型顯示模塊的可視化均勻性，這正是緊湊型、低功耗、高亮度的AR/MR近眼顯示應用的迫切需求。

自2020年初以來，Axus與CP就開始合作開發microLED陣列與CMOS背板晶圓的晶圓級鍵合集成工藝。近日的合作聲明進一步表明了兩家公司在推進microLED顯示器制造工藝和集成方面的承諾。

Axus董事長Dan Trojan評論道：“鑒于microLED開發和商業化帶來的巨大增長潛力和令人興奮的技術進步，我很高興Axus有機會支持在該領域耕耘的諸多技術公司。Axus是CMP相關先進技術和工藝創新領域的領先供應商，可以支持microLED及其解決方案。隨著我們推出最新、最先進的Capstone CMP系統，可為研發、中試生產以及量產應用提供最合適的工藝設備。非常感謝有機會繼續并擴展我們與CP的合作和互動，我們認為CP是該領域的領導者和先驅。”

Axu工藝技術總監Peter Wrschka補充道：“Axus與CP之間的共同合作將為顯示設備提供前所未有的速度和性能。Axus在晶圓鍵合的表面處理及后續襯底去除工藝方面擁有多年經驗，這是成功制造下一代微型顯示器所必需的條件。此次合作將大幅縮短單片集成microLED顯示器的上市時間。”

CP產品開發總監Julie Chao表示：“我們很高興能與Axus合作開發CMP和清洗解決方案，使CP的CMOS背板能與任何像素間距小于5 μm的microLED晶圓實現鍵合。通過MiARA的共同努力，工藝改進周期自然會縮短。這對于滿足從開發商到終端客戶的市場周期來說至關重要。”

microLED一直是最有潛力滿足AR/MR應用關鍵需求的顯示解決方案。制造工藝的創新對于降低成本和實現AR/MR頭戴設備的商業化量產來說至關重要。

原文標題：AR應用熱潮將至，Axus聯手CP打造高分辨率microLED顯示器

文章出處：【微信公眾號：MEMS】歡迎添加關注！文章轉載請注明出處。

責任編輯：haq