SK海力士已開始安裝EUV光刻機(jī)，以量產(chǎn)10nm 1a DRAM
據(jù)etnews報(bào)道，SK海力士已開始在其位于韓國(guó)利川的M16工廠安裝EUV光刻機(jī)，以量產(chǎn)10nm 1a DRAM。
此前SK海力士宣布將在今年年內(nèi)在M16廠建設(shè)產(chǎn)線以生產(chǎn)下一代DRAM，不過(guò)并未透露ASML EUV光刻機(jī)的引進(jìn)方式、確切時(shí)間等。
因此業(yè)內(nèi)人士有諸多揣測(cè)，包括將研究大樓R3的2臺(tái)EUV光刻機(jī)轉(zhuǎn)移至該產(chǎn)線，并計(jì)劃于今年2月開始安裝新購(gòu)買的設(shè)備等。現(xiàn)在看來(lái)，SK海力士新設(shè)備的購(gòu)買和安裝速度快于業(yè)界預(yù)期。
該報(bào)道指出，EUV光刻機(jī)的安裝時(shí)程需要3-6個(gè)月，因此SK海力士最快可以在今年上半年量產(chǎn)第一批產(chǎn)品。
據(jù)悉，ASML是EUV光刻機(jī)的獨(dú)家供應(yīng)商，單臺(tái)的售價(jià)超過(guò)1.35億美元。
責(zé)任編輯：xj
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