3月3日中芯國際發(fā)布公告稱,公司就購買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥(ASML)產(chǎn)品與阿斯麥集團(tuán)簽訂購買單,根據(jù)阿斯麥購買單購買的阿斯麥產(chǎn)品定價(jià),阿斯麥購買單的總代價(jià)為12億美元(約合人民幣78億元)。
上述消息公布后,外界開始流傳不同的消息版本,比如中芯國際購買了7nm、14nm的EUV光刻機(jī),而中芯國際官方并沒有對此進(jìn)行回應(yīng),所以他們到底買了什么呢?
現(xiàn)在,ASML發(fā)布公告澄清稱,中芯國際已根據(jù)香港上市規(guī)則披露了與ASML的批量購買協(xié)議(VPA)。這與DUV光刻技術(shù)的現(xiàn)有協(xié)議相關(guān),該協(xié)議已于2018年1月1日簽訂,最初將一直持續(xù)到2020年12月31日,并于2021年2月1日延長至2021年12月底。
12億美元的總價(jià)值不低,最貴的EUV光刻機(jī)也就是1.2億美元,所以這次簽訂的協(xié)議供應(yīng)量差不多是10臺以上。
VPA下的采購訂單總額在2020年3月16日至2021年3月2日期間過去的12個(gè)月中完成,總計(jì)12億美元。VPA對于ASML而言不是重要事件。我們了解,根據(jù)香港上市規(guī)則,VPA構(gòu)成中芯國際的可披露事件。簡單來說就是,中芯國際購買的只是與DUV光刻技術(shù)有關(guān)。有行業(yè)人士表示,除了EUV光刻機(jī),中芯國際幾乎可以買到ASML其他所有型號的光刻機(jī),包括DUV(深紫外)光刻機(jī)。
此前,ASML的CFO在財(cái)報(bào)會議的視頻采訪中表示:如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對AMSL的整體意義,ASML將能夠從荷蘭向中國客戶(包括中芯國際)提供DUV光刻系統(tǒng),且無需出口許可證。不過,如果涉及直接從美國運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng),ASML則需要為此申請出口許可證。
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