《華林科納-半導(dǎo)體工藝》減薄硅片的蝕刻技術(shù)
摘要
高效指間背接觸太陽(yáng)能電池有助于減少太陽(yáng)能電池板的面積，需要提供足夠數(shù)量的能源供家庭消費(fèi)。我們認(rèn)為適當(dāng)?shù)牟捎霉廒寮夹g(shù)的IBC電池即使在厚度不足的情況下也能保持20%的效率。文章全部詳情：壹叁叁伍捌零陸肆叁叁叁本工作采用光刻和刻蝕技術(shù)對(duì)晶圓進(jìn)行深度刻蝕，使晶圓厚度小于20μm。
關(guān)鍵詞:IBC太陽(yáng)能電池，掩模蝕刻，光刻，反應(yīng)離子蝕刻，TMAH蝕刻
介紹
太陽(yáng)能顯示出供應(yīng)潛力，這個(gè)因素取決于對(duì)高效率光伏器件和降低制造成本的需求。IA是光伏產(chǎn)業(yè)面臨的主要挑戰(zhàn)以與化石燃料競(jìng)爭(zhēng)的成本生產(chǎn)足夠數(shù)量的能源。這個(gè)因素取決于對(duì)高效率光伏器件和降低制造成本的需求。據(jù)報(bào)道，太陽(yáng)能電池的效率在規(guī)模上高于20%。商用太陽(yáng)能電池使用晶體硅材料。這種類型的PV電池是指間背接觸太陽(yáng)能電池。
實(shí)驗(yàn)
審核編輯：符乾江
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