絕緣體上硅（SOI）硅片由頂層硅膜、埋氧層和硅襯底三部分組成。隨著集成電路技術的發展，體硅襯底CMOS集成電路面臨著諸多挑戰，如寄生閂鎖效應（Latch-Up Effect）、短溝道效應、泄漏電流增大、閾值電壓漂移、寄生電容增大等，SOI集成電路則可減少上述困擾。SOI集成電路可以實現集成電路中器件之間更有效的介質隔離，并徹底消除體硅襯底CMOS電路中的寄生閂鎖效應，同時降低寄生電容和RC延遲，提高電路操作速度，減少光掩模版數量，減緩短溝道效應，降低功耗。

根據器件工作時溝道區域是否存在中性區，將SOI器件分為部分耗盡型SOI（Partially Depleted SOI，PD- SOI）器件及全耗盡型SOI（Fully Depleted SOI， FD-SOI）器件兩種類型，如圖6-6所示。FD- SDI器件的頂層硅膜較薄，導通狀態下硅膜處于完全耗盡狀態，消除了中性體區引起的翹曲效應（Kink Effect）和寄生n-p-n管效應。同時，超薄的頂層硅膜使柵極對溝道控制能力得到提高，亞閾值擺幅得到改善，因此FD-SOI器件具有良好的短溝道特性。

有分析認為，從28nm/20nm節點開始，基于體硅CMOS和FinFET工藝的集成電路主流技術的單個晶體管的成本出現不降反升的局面。而作為FD-SOI技術的主要支持者（如IBM、意法半導體、格芯等）認為，在先進節點上，FD- SOI技術將更具備競爭優勢。FD- SOI技術可延續平面CMOS器件的微縮進程。此外，也有一些公司和科研機構正在研究FD- SOI FinFET工藝，如圖6-7所示。

相對于體硅FinFET，FD-SOI因目前仍然采用平面架構，其工藝實現難度及制造成本相對較低。雖然在SOI襯底上制備集成電路的工藝相對簡單，但其原材料成本較高，限制了SOI工藝的廣泛應用。除了介個因素，FD- SOI的產業生態環境也是制約其發展的重要因素，模擬仿真軟件、設計IP、設計工具尚不及普通體硅技術健全，因此FD- SOI目前主要應用于低功耗、低漏電等領域。