MEMS技術亮點 上海交大國家重點實驗室詳解MEMS中的動力學問題研究
這個一份來自上海交通大學振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室，是一份硬核技術資料。
主要講解MEMS工藝過程中的動力學問題，包括了MEMS基本概念、模型、歷史回顧、加工技術、研究成果、應用現狀等內容，推薦需要深入了解MEMS技術的童鞋分享、收藏。
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
mems
+關注
關注
129文章
3958瀏覽量
191094 -
動力學
+關注
關注
0文章
106瀏覽量
17011
發布評論請先 登錄
相關推薦
關于MEMS的技術簡介
等，同時在機械結構上制備了電極，以便通過電子技術進行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一個可轉動的MEMS馬達于1988年誕生于加州大學伯克利分校，如圖1所示；之后于1989年，美國桑迪亞國家
發表于 05-12 17:27
飛行器動力學參數在線辨識EKF算法實驗流程
飛行器動力學參數在線辨識EKF算法實驗流程飛行器俯仰通道動力學方程線性化飛行器俯仰通道動力學方程離散化線性卡爾曼濾波過程實驗流程??飛行器俯
發表于 08-27 06:06
紅外物理國家重點實驗室在非平衡電子態操控領域取得突破
上海技物所紅外物理國家重點實驗室陸衛研究員和復旦大學安正華研究員的科研團隊共同合作，通過散粒噪聲對非局域熱電子能量耗散進行空間成像
Silvaco公司與上海交大成立半導體與顯示器件教學聯合實驗室
據上海交大電子系報道，7月17日，美國Silvaco公司與上海交通大學電子信息與電氣工程學院在舉行了半導體與顯示器件教學聯合實驗室簽約儀式。
如何使用DSPACE實現嵌入式車輛動力學仿真平臺的開發設計
針對嵌入式車輛動力學仿真平臺開發需求，基于吉林大學汽車仿真與控制國家重點實驗室的車輛動力學模型，研究了基于DSPACE環境的車輛
發表于 09-10 14:54
?8次下載
中南大學粉末冶金國家重點實驗室3D打印系統已調試完畢并完成驗收
用于增材制造技術的創新研究，目前，設備現已調試完畢并完成驗收。 粉末冶金國家重點實驗室于1989年經國家計委批準依托于中南大學進行建設，19
深海MEMS氣相色譜儀為我國深海深淵探測提供技術支撐
2022年4月底至6月初，中科院上海微系統與信息技術研究所傳感技術國家重點實驗室馮飛研究員團隊與
基于電磁虛動量力對微粒的動力學操控
近日，中國科學院西安光學精密機械研究所瞬態光學與光子技術國家重點實驗室研究員姚保利團隊，聯合暨南大學李寶軍團隊、新加坡國立大學教授仇成偉、西
首次揭示呼吸子飛秒激光器中的分形動力學
華東師范大學精密光譜科學與技術國家重點實驗室曾和平教授課題組在激光領域取得重要進展，該團隊首次揭示了呼吸子超快激光器中的分形動力學。
看看MEMS教育部重點實驗室是如何介紹MEMS的?
東南大學MEMS教育部重點實驗室是以微電子學科為主題、結合電子工程系固體電子學研究室、工程力學系和機械工程系相關課題組，組建了跨學科的
聚焦MEMS！這個重點實驗室揭牌
系統與智能傳感重慶市重點實驗室、北理工重研院、重慶金山科技（集團）有限公司優化重組而成，整合了我市生物微機電系統研究領域的優勢資源力量，將著力解決MEMS（微機電系統）生物傳感器、新型
聚焦MEMS！這個重點實驗室揭牌
系統與智能傳感重慶市重點實驗室、北理工重研院、重慶金山科技（集團）有限公司優化重組而成，整合了我市生物微機電系統研究領域的優勢資源力量，將著力解決MEMS（微機電系統）生物傳感器、新型
上海交大電院與奧拓電子共建智能視訊聯合實驗室
7月23日上午，上海交通大學電子信息與電氣工程學院與深圳市奧拓電子股份有限公司共建的“智能視訊聯合實驗室”在奧拓電子總部正式揭牌成立，上海交大電院黨委書記蘇躍增、院長關新平、奧拓電子董事長吳涵渠、原副董事長郭衛華、總裁楊四化等領
工商網監
評論