6.1.1 選擇性摻雜技術∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》
6.1.2 n型區的離子注入
6.1 離子注入
第６章碳化硅器件工藝
《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》
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