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【虹科傳感器小課堂】眨眼之見:通過氣體檢測進(jìn)行熱流量測量和校正

虹科傳感器技術(shù) ? 2022-09-22 09:42 ? 次閱讀

無論清潔氣體或混合物的混合比如何,始終計算正確的流量值,竟然只需要一種傳感器?并且測量速度很快?想要了解是那種傳感器嗎?那就繼續(xù)往下看吧~

為什么要做這個測試?

Why do this test?

量熱式流量傳感器通常根據(jù)特定介質(zhì)進(jìn)行調(diào)整,因?yàn)闇y量值受氣體的熱導(dǎo)率和容量的影響。因此,每種氣體都需要一個專門校準(zhǔn)的傳感器。結(jié)合用于清潔氣體檢測或二元?dú)怏w混合物濃度測定的密度測量,可以在過程運(yùn)行時靈活分配校準(zhǔn)數(shù)據(jù)和校正因子。這意味著,無論清潔氣體或混合物的混合比如何,始終計算正確的流量值,并且該測量點(diǎn)只需要一種傳感器。

什么是眨眼之見?

What is a wink of Knowledge?

你需要快速測量、繪制或做某事嗎?取得結(jié)果的速度比完美的(科學(xué)的)方法更重要。為此,我們介紹了眨眼之見。也就是說,驗(yàn)證科學(xué)就在眨眼之間。我們不想以科學(xué)的方式證明任何事情,而是迅速地以務(wù)實(shí)的方式證明一些事情。如果您感興趣,我們很樂意與您進(jìn)行更詳細(xì)的探討。

結(jié)果

Result

在圖 1 中,原始流量值以藍(lán)色繪制在右側(cè)軸上,校正后的體積流量以橙色繪制在左側(cè)軸上。藍(lán)色線性擬合清楚地顯示了 CO2 和 N2 的不同熱參數(shù)如何在沒有密度或濃度校正的情況下偽造確定的測量值。然而,通過添加在線密度測量,流量可以被校正到設(shè)定的100 sccm的大約2%以內(nèi),如橙色的線性擬合所示。結(jié)果表明:虹科氣體密度傳感器DGF-I1和IST流量傳感器SFS01的組合,可以準(zhǔn)確地測定混合氣體的流速,而與混合氣體的濃度比無關(guān)。

除了已知?dú)怏w成分的二元?dú)怏w混合物外,該原理還可以擴(kuò)展到在不同密度的氣體之間切換。使用清潔氣體檢測系統(tǒng),可以選擇適當(dāng)?shù)男?zhǔn)數(shù)據(jù)或校正因子,并實(shí)時校正測量值。這樣就有可能實(shí)現(xiàn)靈活的、性價比更高的流量測量,并具有熱測量原理的所有優(yōu)點(diǎn):

長期穩(wěn)定抗振測量

緊湊設(shè)計

響應(yīng)時間特別快(<10 毫秒),適用于過程控制

包括方向檢測在內(nèi)的最低流速的高靈敏度

潔凈氣體檢測

多參數(shù)測量系統(tǒng)(流量、密度、壓力、溫度)

微泄漏監(jiān)測

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圖1:校正流量與原始流量的比較

實(shí)驗(yàn)裝置

Experimental device

圖2為實(shí)驗(yàn)站的設(shè)置。使用并聯(lián)的熱質(zhì)量流量控制器 (MFC 1-5) 設(shè)置各種純氣體和氣體混合物的所需流速值。每個質(zhì)量流量控制器都校準(zhǔn)到相應(yīng)的清潔氣體,這意味著可以精確控制混合比。然后氣體混合物流過兩個串聯(lián)的密度和流量傳感器。

流量傳感器的 I2C 測量信號直接傳輸?shù)綒怏w密度傳感器,通過測得的密度和濃度來計算原始值和校正因子。將得到的流量測量值與氣體混合器的設(shè)定目標(biāo)值進(jìn)行比較,以驗(yàn)證原型的功能。

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圖2:實(shí)驗(yàn)裝置

使用了哪些傳感器?

Which sensors are used?

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氣體密度傳感器HK-DGF-i1

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流量傳感器SFS01

關(guān)于我們

虹科傳感器技術(shù)

我們致力于更加精確簡單的測量方案,與全球領(lǐng)先的高精度、高可靠性的傳感器廠家進(jìn)行技術(shù)合作,為客戶提供全球先進(jìn)的測量方案,包括激光測距、粘密度測量、光纖傳感器、機(jī)電傳感器等。通過提供各種不同的技術(shù)進(jìn)行關(guān)鍵測量,消除了在惡劣嚴(yán)苛環(huán)境中對傳感的限制,使客戶能夠得到最理想的結(jié)果。

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
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