隨著新能源汽車、光伏和儲能等市場的快速發展,國內的碳化硅產業正迅速進入商業化階段。國際功率半導體巨頭對該產業表達了濃厚的興趣,并與國內企業合作,積極追趕更先進的8英寸工藝節點。
當前,碳化硅襯底在功率元器件中的成本占比接近50%。因此,國際巨頭紛紛涉足碳化硅產業,并爭相搶占8英寸制造技術的先機,甚至將量產時間提前至今年。
明確的行業趨勢是從6英寸擴徑到8英寸。如果國內設備制造商仍然大幅提高6英寸襯底設備產能,將面臨“投產即落后”的問題。
盡管目前主流芯片技術仍以6英寸為主,但美國的Wolfspeed公司已經開始商業化生產8英寸襯底。國內少數廠家可以進行8英寸襯底的示范或小規模供貨,但尚未形成大規模供貨能力。就成熟度和價格而言,8英寸碳化硅技術相對于6英寸技術還不具備競爭優勢,其發展前景主要取決于未來新能源汽車等市場的需求規模。
據報道,國內已有十余家企業和機構正在進行8英寸碳化硅襯底的研發工作。這些企業包括爍科晶體、晶盛機電、天岳先進、南砂晶圓、同光股份、中科院物理所、山東大學、天科合達、科友半導體和乾晶半導體等。
與傳統的6英寸襯底相比,8英寸襯底的面積增加了約78%。由于邊緣損耗減少,在相同的條件下,從一塊8英寸襯底上切割出的芯片數量將提高近90%。因此,隨著尺寸的增大,碳化硅晶片的利用面積也隨之增加。從產品使用效率來看,目前可用面積方面,6英寸和8英寸之間相差約1.78倍。換句話說,采用8英寸制造技術將在很大程度上降低碳化硅的應用成本。這一趨勢對于推動碳化硅產業發展具有重要意義。
編輯:黃飛
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