加速度傳感器是一種用于測量加速度的傳感器,通常使用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)直接測量物體的加速度。在很多場景下,選擇合適的加速度傳感器很重要。本文將介紹加速度傳感器的分類以及選型。
加速度傳感器有哪幾種
1、壓電式加速度傳感器
壓電加速度傳感器的原理是利用壓電陶瓷或石英晶體的壓電效應(yīng)。當(dāng)加速度傳感器振動(dòng)時(shí),質(zhì)量塊施加到壓電元件上的力會(huì)相應(yīng)變化。當(dāng)測量的振動(dòng)頻率遠(yuǎn)低于加速度傳感器的固有頻率時(shí),力的變化與測量的加速度成正比。
2、壓阻式加速度傳感器
基于的MEMS硅微加工技術(shù),壓阻式加速度傳感器具有體積小、功耗低的特點(diǎn),易于集成到各種模擬和數(shù)字電路中。廣泛應(yīng)用于汽車碰撞實(shí)驗(yàn)、檢測儀器、設(shè)備振動(dòng)監(jiān)測等。
3、電容式加速度傳感器
電容式加速度傳感器是基于電容原理變化很大的電容式傳感器。電容式加速器在某些領(lǐng)域是不可替代的,例如安全氣囊、移動(dòng)設(shè)備等。它通常采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù),在批量生產(chǎn)中經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,從而確保成本較低。
加速度傳感器如何選擇參數(shù)
1、測量范圍
首先要考慮的是測量范圍,即加速度傳感器能夠測量的最大和最小物理量。在確定測量范圍時(shí),需要考慮到振動(dòng)水平、加速度大小、加速度變化率等多個(gè)因素。
2、輸出信號
加速度傳感器的輸出信號支持模擬信號和數(shù)字信號兩種,其中,模擬信號范圍較小,但是精度較高,數(shù)字信號范圍更廣,但是精度相對較低。
3、加速度靈敏度
加速度傳感器的靈敏度是指,對于特定的加速度值,傳感器的輸出信號發(fā)生的變化量,靈敏度的單位通常是mv/G。在選型時(shí),應(yīng)該根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的靈敏度。
4、頻率響應(yīng)特性
頻率響應(yīng)特性是指傳感器對于不同頻率的振動(dòng)具有不同的響應(yīng)特性。在加速度傳感器選型中,需要根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求選擇合適的加速度傳感器。
5、準(zhǔn)確性
準(zhǔn)確性是指傳感器測量值與真實(shí)值之間的誤差,包括靜態(tài)誤差和動(dòng)態(tài)誤差。在加速度傳感器選型中,需要選擇誤差小、準(zhǔn)確性高的傳感器。
6、加速度傳感器的耐用性和防護(hù)等級
在實(shí)際應(yīng)用中,加速度傳感器可能會(huì)面臨很多挑戰(zhàn),如高溫、低溫、潮濕、污染等等,因此,需要選擇耐用性好、具備防護(hù)等級的傳感器。
加速度傳感器的特性
1、靈敏度:靈敏度是由一定力產(chǎn)生的輸出電壓,以g為單位。它通常以條件下每單位加速度的伏特?cái)?shù)表示。加速度傳感器的靈敏度通常在正弦波形狀的單個(gè)參考頻率下測量。
2、頻率響應(yīng):是加速度傳感器應(yīng)工作的頻率范圍內(nèi)的輸出信號。
3、加速度范圍:是加速度傳感器輸出信號規(guī)格支持的加速度級別,通常以 ±g 為單位。
4、溫度引起的靈敏度變化:為每oC的變化百分比。
5、非線性:是加速度計(jì)響應(yīng)與線性響應(yīng)偏差的測量值。它為相對于滿量程范圍 (%FSR) 或滿量程 (%FS) ±的百分比。
6、零g電平:以V為單位,它了0g加速度下輸出端可能預(yù)期的電壓范圍。
7、跨軸靈敏度:是衡量當(dāng)加速度施加到另一個(gè)軸上時(shí)在一個(gè)軸上看到多少輸出的量度,通常以百分比形式。兩個(gè)軸之間的耦合是由對準(zhǔn)誤差、蝕刻不準(zhǔn)確和電路串?dāng)_共同造成的。
8、噪聲密度:噪聲密度,單位為 ug/rt(Hz) RMS,是噪聲輸出功率譜密度的平方根。
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