上海伯東激光器零件氦質(zhì)譜檢漏法
上海伯東客戶(hù)某生產(chǎn)航天和半導(dǎo)體相關(guān)精密零件公司, 近日通過(guò)伯東推薦, 采購(gòu)移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 主要用于激光器零件檢漏.
激光器零件檢漏: 應(yīng)用于航天的激光器零件, 中空夾層設(shè)計(jì), 僅在兩端焊接密封, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
激光器零件檢漏方法: 利用氦質(zhì)譜檢漏儀真空法對(duì)激光器零件進(jìn)行檢漏, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
1. 激光器一端密封, 一端通過(guò)訂制夾具和波紋管與氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 連接
2. 在操作面板設(shè)置真空模式下漏率值, 啟動(dòng)檢漏儀 ASM 390, 在兩端焊縫處噴氦氣, 如果有漏, 檢漏儀聲光報(bào)警并在面板上顯示當(dāng)前漏率值.
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移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390漏率值單位提供多種類(lèi)型
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
 | 檢漏儀配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵 檢測(cè)氣體: 4He, 3He, H2 最小檢測(cè)漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s 對(duì)氦氣的抽速: 10 l/s 前級(jí)泵抽速: 35 m3/h |
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