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基于MIM光機(jī)械系統(tǒng)的超聲波探測(cè)

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-08-29 09:12 ? 次閱讀

光學(xué)腔對(duì)于提高分子吸收光譜的靈敏度至關(guān)重要,分子吸收光譜在高靈敏度氣體傳感中有著廣泛的應(yīng)用。然而,高精細(xì)度腔的使用會(huì)限制操作波長范圍,從而阻礙更廣泛的應(yīng)用。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,華東師范大學(xué)精密光譜科學(xué)與技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的科研團(tuán)隊(duì)在Nature Communications期刊上發(fā)表了以“Dual-comb optomechanical spectroscopy”為主題的論文。Shuo Li和Jin Pan為該論文的共同第一作者,通訊作者為閆明研究員、盛繼騰研究員、武海斌教授和曾和平教授。

這項(xiàng)研究展示了將雙梳光譜學(xué)(DCS)與腔光力學(xué)相結(jié)合的超靈敏多路復(fù)用光譜。在雙梳激勵(lì)下,將多路復(fù)用分子吸收光譜下轉(zhuǎn)換為外差超聲信號(hào),再轉(zhuǎn)換為機(jī)械諧振器的振動(dòng)。中間膜(MIM)腔光機(jī)械系統(tǒng)以高位移靈敏度實(shí)時(shí)探測(cè)機(jī)械諧振器的振動(dòng)。這種雙梳光機(jī)械光譜(DCOS)憑借其優(yōu)異的靈敏度以及在光譜帶寬、分辨率和采集速度等方面的優(yōu)勢(shì),在氣體傳感應(yīng)用領(lǐng)域具有廣闊的前景。

圖1闡述了DCOS的原理,主要包括兩個(gè)部分:(1)利用雙梳作為激發(fā)光產(chǎn)生超聲波;(2)基于MIM光機(jī)械系統(tǒng)的超聲波探測(cè)。圖2a為該實(shí)驗(yàn)設(shè)置,包括雙梳源和用于超聲波探測(cè)的MIM系統(tǒng)。

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圖1 雙梳光機(jī)械光譜學(xué)(DCOS)

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圖2 實(shí)驗(yàn)設(shè)置及結(jié)果

為了獲得光譜信息,研究人員對(duì)持續(xù)2秒的時(shí)域軌跡進(jìn)行傅里葉變換,該時(shí)域軌跡包含40個(gè)干涉圖,結(jié)果如圖3所示。

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圖3 傅里葉變換的DCOS

為了探究DCOS的靈敏度,研究人員在室溫和一個(gè)大氣壓(~ 10? Pa)下使用含有1ppm C2H2的N2標(biāo)準(zhǔn)氣體混合物。研究人員首先通過比較帶有光機(jī)械腔與不含光機(jī)械腔記錄的光聲(PA)光譜來證實(shí)探測(cè)增強(qiáng)效果。在MIM系統(tǒng)的幫助下,該實(shí)驗(yàn)獲得了約兩個(gè)數(shù)量級(jí)的超聲探測(cè)增強(qiáng)。

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圖4 超靈敏探測(cè)實(shí)驗(yàn)結(jié)果

綜上所述,該研究闡述了DCOS方法,該方法在不使用諧振腔(或等效裝置)來增強(qiáng)分子吸收情況下可提供ppb級(jí)靈敏度,并且避免了在波長、鏡面涂層、物理尺寸等方面的限制。該方法利用光學(xué)梳有望實(shí)現(xiàn)覆蓋全光譜范圍的光譜測(cè)量(即從紫外波段到太赫茲波段)。而寬響應(yīng)帶寬(?10 dB下340 kHz)是該系統(tǒng)的另一項(xiàng)優(yōu)勢(shì),這有利于實(shí)時(shí)的多路復(fù)用光譜測(cè)量。該方法將DCS與腔光力學(xué)兩種革命性的技術(shù)相結(jié)合,有望用于光譜測(cè)量,并且具有寬光譜、高分辨率、短測(cè)量時(shí)間以及最重要的超高探測(cè)靈敏度等特性。將這些特性集成到光聲傳感平臺(tái)上,將為具備選擇性和靈敏度的光譜氣體傳感及其應(yīng)用(如痕量檢測(cè)、多氣體監(jiān)測(cè)等)帶來了新的發(fā)展機(jī)遇。

審核編輯:彭菁

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原文標(biāo)題:雙梳光機(jī)械光譜(DCOS)助力高靈敏度氣體傳感

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