中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司(中國(guó)電子院)為對(duì)象,最近傳出的“清華大學(xué)euv項(xiàng)目asml巨大化***,***實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化,已經(jīng)在雄安新區(qū)落地”指出,國(guó)產(chǎn)***廠的開(kāi)發(fā),而是北京高能同步輻射光源項(xiàng)目(heps)。
據(jù)中國(guó)電子院消息heps是中國(guó)最早的高能同步加速器光源,也是世界上亮度最高的第四代同步加速器光源之一,坐落于北京懷柔雁棲湖畔,正位于中國(guó)湖北“十三五”規(guī)劃的重大科技基礎(chǔ)設(shè)施。預(yù)計(jì)最早將于2019年開(kāi)始建設(shè),到2025年末啟動(dòng)。
heps的作用是通過(guò)加速器加速到6gev電子束,注入1360米周長(zhǎng)的儲(chǔ)存環(huán)節(jié)以接近光速的速度運(yùn)行,保持電子束通過(guò)儲(chǔ)存在環(huán)的位置彎轉(zhuǎn)磁鐵或插入各種件時(shí)放出偏向軌道的切線方向,會(huì)隨著穩(wěn)定、高熱、高亮度的光也同步輻射光。總之heps可以看作是超精密、超高速、穿透力強(qiáng)大巨大的機(jī)器,它產(chǎn)生的x光片可以冒著小的物質(zhì)是深入內(nèi)部立體掃描,分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界,heps,進(jìn)行科學(xué)實(shí)驗(yàn)的大科學(xué)裝置,并不是網(wǎng)傳的***廠了。
這些工作將在全國(guó)勘察設(shè)計(jì)大師,國(guó)投集團(tuán)首席科學(xué)家louyu帶領(lǐng)中國(guó)文化院,電子技術(shù)攻克科研和設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)協(xié)同合作項(xiàng)目不平衡沉降,微小的振動(dòng)控制,超長(zhǎng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),太陽(yáng)能板設(shè)計(jì),精密溫度控制,冷卻水循環(huán)系統(tǒng),超復(fù)雜工程系統(tǒng)等技術(shù)難題。目前,高能同步加速器輻射光源部隊(duì)工程已全面完工。
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加速器
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光源
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光刻機(jī)
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