激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測量儀器的代表，在精密制造、計量等各個行業(yè)領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用，在精密位移、直線度、垂直度等測量領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用。什么是決定激光干涉儀測量精度的關(guān)鍵因素？您正在使用或購買的激光干涉儀精度能夠達到指標要求么？如何對激光干涉儀的精度和性能進行驗證評價？

SJ6000激光干涉儀

激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關(guān)？

激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應(yīng)用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)最終均與激光波長有關(guān)，因此激光器頻率的準確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)（壓力、溫濕度傳感器）的讀數(shù)準確性對最終的測量精度有著重要的影響。

總結(jié)起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：
1.激光器頻率（波長）及頻率穩(wěn)定性；
2.測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差；
3.反射鏡、角錐棱角誤差；
4.溫濕度、壓力傳感器誤差；

當然，在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀的校準與精度驗證

激光干涉儀在購置投入使用前應(yīng)進行關(guān)鍵性能的驗證。且隨著使用年限的增加，激光干涉儀（包括環(huán)境補償系統(tǒng)）的性能可能會因老化或使用不當出現(xiàn)衰退，對測量精度造成影響。因此需要定期對激光干涉儀測量系統(tǒng)的關(guān)鍵性能參數(shù)進行校準，以確保在精密測量應(yīng)用中獲得準確的數(shù)據(jù)結(jié)果。根據(jù)國家計量檢定規(guī)程的要求，需要對激光干涉儀激光頻率、測距誤差、測角誤差、環(huán)境補償傳感器進行定期校準。

審核編輯 黃宇