上海華宏利半導體制造有限公司就“半導體結構及其形成方法”申請專利,申請公告日為11月17日,申請公告號為cn113921595b。
專利摘要據半導體結構及其形成的方法中,半導體結構包括如下:第一夾雜著離子的電路板;位于基板內的深谷結構、機關和深深的凹槽結構位于上方的雜質區域切斷,位于阻擋摻雜區上的第一外延層,第一外延層內的體區,至少一部分是所述深谷位于結構的上部。位于本體內的發源區,本體區露出發源區的部分表面。柵極位于第一外延層,與深谷結構相鄰的基板上,柵極接觸本體區和發源區暴露的表面。位于襯底底部的集電區,第2面露在集電區表面,集電區與深槽結構底部之間有集電區的間隔。通過這種半導體結構,絕緣柵晶體管的性能得到了提高。
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