長鑫存儲科技有限公司“沉積設備、靜電卡盤、加熱系統及其控溫技術”
據天眼查披露，長鑫存儲技術有限公司于2024年4月5日發布了其關于“沉積設備、靜電卡盤、加熱機構及其控溫方法”的專利，專利號為CN117821945A。
此項發明涉及一種新型沉積設備、靜電卡盤和加熱機構，并提供了相應的控溫方法。加熱機構主要由導熱板、加熱組件及控制器組成。加熱組件包含至少兩個加熱元件，其中一個為主加熱元件，其他則作為備用。控制器負責控制各加熱組件的運行，并在主加熱元件發生故障時啟動備用加熱元件。當某加熱組件的主加熱元件失效時，其備用加熱元件會立即投入使用，由于備用加熱元件與主加熱元件在導熱板上的位置基本重合，因此能夠有效防止加熱過程中出現中斷，確保導熱板受熱均勻，從而提高加熱機構的穩定性和控溫效果，進而保障產品的加工質量。
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