中微公司公布其2024年第一季度業績報告，營業收入達16.05億元人民幣，同比上漲31.23%，歸屬于上市公司股東的凈利潤為2.49億元，同比減少約9.53%。

利潤下滑的主要原因是非經常性損益轉為虧損，導致同比減少0.61億元。其中，刻蝕設備業務收入達到13.35億元，同比增幅高達64.05%，占總營收比例從66.55%大幅上升至83.20%。公司刻蝕設備產量的提升，以及期末期初庫存商品的增長為未來的收入奠定堅實基礎。

然而，受到終端市場波動影響，MOCVD設備收入降至約0.38億元，同比減少約77.28%。此外，備品備件及服務收入也有所下滑，約為2.32億元，同比減少約4.38%。

在刻蝕設備研發方面，公司積極投入先進芯片制造技術中關鍵刻蝕設備的研發和驗證，目前已有多款設備在客戶產線上展開驗證。晶圓邊緣Bevel刻蝕設備已完成開發，即將進入客戶驗證階段，而TSV硅通孔刻蝕設備則在先進封裝和MEMS器件生產中得到廣泛應用。

在薄膜沉積設備研發方面，公司已有多款設備產品進入市場，部分設備已獲得重復性訂單，其他多個關鍵薄膜沉積設備研發項目正穩步推進。

公司的鎢系列薄膜沉積產品已覆蓋存儲器件所有鎢應用，并已完成多家邏輯和存儲客戶對CVD/HAR/ALDW鎢設備的驗證，成功取得客戶訂單。近期，公司還計劃推出多款CVD和ALD設備，以擴大薄膜設備的覆蓋范圍，進一步開拓市場。

在MOCVD設備研發方面，用于碳化硅功率器件外延生產的設備已于本季度交付客戶進行驗證測試；制造Micro-LED應用的新型MOCVD設備也已在客戶端進行驗證測試。