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阿斯麥(ASML)與比利時微電子(IMEC)聯合打造的High-NA EUV光刻實驗室正式啟用

深圳市浮思特科技有限公司 ? 2024-06-06 11:20 ? 次閱讀

近日,全球領先的半導體制造設備供應商阿斯麥(ASML)與比利時微電子研究中心(IMEC)共同宣布,位于荷蘭費爾德霍芬的High-NA EUV光刻實驗室正式啟用。

這一里程碑式的事件標志著雙方合作研發的高數值孔徑(High NA)極紫外(EUV)光刻技術即將進入大批量生產階段,預計將在2025至2026年間實現廣泛應用。

該實驗室的核心設備是一臺名為TWINSCAN EXE:5000的原型高數值孔徑EUV掃描儀,以及一系列配套的處理和計量工具。這些設備將共同助力未來芯片制造的突破,為行業帶來前所未有的精度和效率。

IMEC與ASML的合作不僅推動了High-NA EUV技術的研發,也為領先的芯片制造商和其他相關供應商提供了早期使用這一價值3.5億歐元先進工具的機會。這一舉措不僅展示了雙方對技術創新的共同追求,也體現了對全球半導體產業未來發展的深刻洞察。

ASML在周一的聲明中表示,預計客戶將在2025年至2026年開始使用這一工具進行商業制造。目前,ASML已經向美國英特爾公司出貨了另一臺測試機器,英特爾計劃在其2025年的14A工藝中使用該設備。

分析人士認為,High-NA EUV技術的成熟和普及將對半導體產業產生深遠影響。隨著技術的不斷進步,未來的芯片制造將更加精細、高效,從而推動整個產業的快速發展。IMEC與ASML的此次合作無疑為這一進程注入了強大的動力。

對于行業而言,High-NA EUV技術的廣泛應用將帶來更高的生產效率和更低的制造成本,進一步推動半導體產業的競爭和創新。同時,這也將促進相關產業鏈的發展,為全球經濟注入新的活力。

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