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CP測試和WAT測試有什么區別

中科院半導體所 ? 來源:老虎說芯 ? 2024-11-22 10:52 ? 次閱讀

本文詳細介紹了在集成電路的制造和測試過程中CP測試(Chip Probing)和WAT測試(Wafer Acceptance Test)的目的、測試對象、測試內容和作用。

在集成電路的制造和測試過程中,CP測試(Chip Probing)和WAT測試(Wafer Acceptance Test)是兩個非常重要的測試環節。盡管它們都在晶圓(Wafer)階段進行,但二者的目的、測試對象、測試內容和作用是有顯著不同的。

整體概述:CP測試和WAT測試

我們可以把集成電路的制造過程比作一輛汽車的生產。汽車的制造涉及多個零部件的裝配和整車的檢測,而每個零部件的品質至關重要。同樣的,集成電路的制造包括晶圓的加工、芯片的封裝和成品的檢驗。

WAT測試相當于檢測汽車各個重要零件的品質,確保零部件在進入總裝之前沒有問題。它專注于檢測晶圓上的特定測試圖形(Test Key),這些圖形不在最終的芯片中,但能夠反映整個制造過程中的工藝情況。

CP測試更像是對汽車發動機進行的總成測試,確保所有的核心部件在出廠前已經能夠正常運轉。它直接在晶圓上對每個芯片進行電氣測試,挑出有問題的芯片并做修補,以提高成品的良率。

測試對象的區別

WAT測試的對象:WAT測試的對象并不是整個晶圓的所有芯片,而是晶圓上特定設計的測試圖形。這些測試圖形被稱為“測試鍵”或“Test Key”,位于晶圓上的劃片道(Scribe Line)中。它們不占用實際產品芯片的空間,但能反映出晶圓各個區域的制造工藝是否穩定和達標。

CP測試的對象:CP測試的對象是整個晶圓上每一個獨立的芯片(Die)。它在封裝前,對每個芯片的功能和基本電性參數進行測試,挑出有缺陷的芯片并記錄下來。這類似于對每一個汽車發動機進行單獨的運轉測試,確保在裝入車身之前一切正常。

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測試目的的不同

WAT測試的目的是通過對特定測試圖形的電學參數測試,檢測制造過程的工藝情況,評估制造過程是否穩定。WAT測試類似于汽車制造中的質量監控,確保在生產過程中每一個零件都是合格的。通過對這些“零件”的電學參數的監控,工藝工程師能夠及時調整生產工藝,防止批量性缺陷的發生。

CP測試的目的則是對晶圓上每一個芯片進行篩選,找出不合格的芯片并進行修補或標記。它的主要作用是減少后續封裝的成本,避免將有問題的芯片送入封裝階段。它更像是最終把控發動機品質的環節,確保每一個進入下一步裝配的芯片都能夠達到基本的功能要求。

測試內容的不同

WAT測試的內容:WAT測試主要包括對一些基礎電學參數的測量,如閾值電壓(Vt)、電阻電容、漏電流等。測試圖形的設計反映了工藝的各個方面,例如MOSFET的特性、導通電阻、寄生二極管等。這些參數能夠反映出工藝過程中的問題,是工藝質量控制的重要依據。 CP測試的內容:CP測試的內容更加全面,除了對某些基礎電學參數的測量,還包括芯片的功能測試。根據不同芯片的設計,CP測試可能包括邏輯功能測試、存儲器讀寫測試、功率器件的大電流測試(有限制)等。CP測試主要使用探針卡(Probe Card)對晶圓上的芯片逐個進行測試,找到有問題的芯片。

測試設備的不同

WAT測試設備:WAT測試通常使用的是特定的參數測試儀,它們能夠精確地測量測試圖形的電學特性。這些設備的精度要求很高,但測試電壓和功率一般較低。

CP測試設備:CP測試使用探針臺(Prober)和探針卡(Probe Card),通過探針與芯片的接觸,對芯片進行電性測試。探針卡的設計和制作難度較高,因為它需要精確地接觸到每個芯片的測試點,同時要避免并行測試中的干擾問題。

測試時間點和作用的不同

WAT測試在晶圓完成所有的制造工序后進行,是對制造工藝的一次“終點檢驗”。如果WAT測試不合格,這片晶圓就不能進入下一步的CP測試和封裝環節。因此,WAT測試對于整個制造工藝的質量把控起著至關重要的作用。

CP測試則是在WAT測試之后進行的。它直接面向每個芯片,剔除掉有缺陷的芯片,同時記錄下合格的芯片進行后續封裝。CP測試在整個制程中可以看作是一種半成品檢測,目的是監控前道工藝的良率,避免封裝過多的壞芯片,降低后道的成本。

比喻總結

WAT是整體工藝的“健康體檢”,CP是個體功能的“全面檢查”。

我們可以將整個測試過程比作人體的體檢和康復:

WAT測試類似于工廠在生產前對每一批原材料進行“健康體檢”,目的是確保每一批次的原材料(晶圓)都是健康且符合標準的。如果原材料有問題,工廠將無法進行后續的加工。

CP測試則像是對每一個獨立的“產品”進行全面的“檢查和修復”,目的是挑出有問題的個體,并及時修補或剔除。這樣可以避免在后續的封裝階段因個體問題導致批量的返工或損失。

總結和思考

總的來說,WAT測試和CP測試盡管都是在晶圓階段進行,但它們在測試對象、測試目的、測試內容、測試設備和測試時機上都有明顯的區別。WAT測試專注于工藝的穩定性和一致性,目的是從宏觀上確保每片晶圓的整體工藝質量。CP測試則專注于每個獨立芯片的功能和電性表現,目的是從微觀上剔除不合格的芯片,并修復可以修復的缺陷。

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原文標題:CP測試和WAT測試的區別

文章出處:【微信號:bdtdsj,微信公眾號:中科院半導體所】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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