一、反射鏡移動精度要求高

白光干涉測量對光程差的改變非常敏感，即使是微小的移動也會導致顯著的相位變化。因此，反射鏡的移動必須非常精確，通常要達到納米級別。這種高精度的移動要求機械系統具有極高的穩定性和分辨率。

二、機械系統穩定性挑戰

反射鏡的移動通常依賴于機械系統，如壓電陶瓷、精密絲杠等。然而，這些機械系統容易受到溫度、振動等外部因素的影響，導致移動不穩定。為了提高穩定性，需要采取一系列措施，如溫度控制、減震設計等。

三、非線性誤差的校正

機械系統在移動過程中可能會產生非線性誤差，即移動量與預期值之間存在偏差。這種偏差會影響白光干涉測量的準確性。為了校正非線性誤差，需要對機械系統進行精確的校準，并采取相應的補償措施。

四、反射鏡移動速度的控制

在某些應用中，需要快速改變反射鏡的位置以實現高速測量。然而，機械系統的響應速度和加速度受到限制，可能導致無法及時完成所需的移動。因此，需要在機械設計中考慮高速響應和加速度的要求。

五、反射鏡的定位精度

白光干涉測量中，反射鏡的準確定位對于獲取精確的測量結果至關重要。然而，由于機械系統的限制和外部環境的影響，反射鏡的定位精度可能會受到影響。為了提高定位精度，需要采用高精度的傳感器和反饋控制系統來實時監測和調整反射鏡的位置。

六、機械磨損與壽命問題

長時間使用會導致機械部件的磨損和性能下降。在白光干涉測量中，這種磨損可能會影響反射鏡的移動精度和穩定性。因此，需要選擇高質量的機械部件并定期進行維護和更換。

綜上所述，白光干涉中的機械相移技術難點主要涉及反射鏡的移動精度、機械系統穩定性、非線性誤差校正、移動速度控制、定位精度以及機械磨損與壽命問題。為了解決這些難點，需要采用先進的機械設計和控制技術，并不斷優化和改進測量系統。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態/靜態 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統白光干涉操作復雜的問題，實現一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現卓越的重復性表現。

2)系統集成CST連續掃描技術，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統，實現實現“動態”3D輪廓測量。

實際案例

1，優于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

2，毫米級視野，實現5nm-有機油膜厚度掃描

3，卓越的“高深寬比”測量能力，實現光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。