近日,國(guó)家電投集團(tuán)黃河水電公司宣布已有能力規(guī)模生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅,發(fā)展成國(guó)內(nèi)唯一一家集成電路應(yīng)用的高純電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)企業(yè),打破了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)長(zhǎng)期由國(guó)外公司壟斷的格局,經(jīng)第三方權(quán)威檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè),其產(chǎn)品質(zhì)量與德國(guó)、日本知名多晶硅質(zhì)量相當(dāng)。
在國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展熱下,集成電路上游材料半導(dǎo)體級(jí)硅片一直處于一片難求的狀態(tài),然而,近日國(guó)內(nèi)多個(gè)半導(dǎo)體用多晶硅項(xiàng)目的規(guī)劃、落地,正預(yù)示著多晶硅片正迎來(lái)國(guó)產(chǎn)化。
據(jù)悉,集成電路用的電子級(jí)硅材料幾乎是目前工業(yè)領(lǐng)域純度要求最高的產(chǎn)品,純度要求達(dá)到99.99999999999%,即11個(gè)9以上,而普通太陽(yáng)能級(jí)多晶硅材料純度通常在5-8個(gè)9左右。按照江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司研究人員的說(shuō)法,鑫華半導(dǎo)體第一條生產(chǎn)線年產(chǎn)五千噸電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品,其總的雜質(zhì)含量?jī)H相當(dāng)于一枚1元硬幣的重量。
高技術(shù)門檻讓國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)一直以來(lái)在高純度電子級(jí)多晶硅材料需求上完全依賴進(jìn)口。放眼全球,集成電路硅片市場(chǎng)寡頭集聚,尤其是在12英寸硅片領(lǐng)域,全球排名前五家的企業(yè)市場(chǎng)占有率達(dá)到97.8%,掌握著絕對(duì)的定價(jià)權(quán)。
“我國(guó)的工業(yè)硅、多晶硅產(chǎn)量世界第一。可極大規(guī)模集成電路(ULSI)用的高純度硅材料幾乎全部依賴進(jìn)口。”中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)長(zhǎng)陳全訓(xùn)在新疆烏魯木齊參加2018年中國(guó)硅業(yè)大會(huì)時(shí)呼吁業(yè)內(nèi)企業(yè)加快技術(shù)突破,盡快彌補(bǔ)高端材料的空白。
可喜的是,今年在這一領(lǐng)域,我國(guó)多家企業(yè)取得突破性進(jìn)展。
中國(guó)科學(xué)院院士楊德仁介紹,目前,國(guó)內(nèi)規(guī)劃、建設(shè)中的電子級(jí)多晶硅產(chǎn)能大約8500噸,其中,黃河水電(年產(chǎn)能1250噸)、鑫華半導(dǎo)體(年產(chǎn)能5000噸)、昆明冶研(年產(chǎn)能1000噸)、新特能源(年產(chǎn)能1500噸)。
據(jù)悉,黃河水電已經(jīng)銷售了大約200噸電子級(jí)高純多晶硅。保利協(xié)鑫內(nèi)部高層透露,到今年年底,旗下的鑫華半導(dǎo)體5000噸半導(dǎo)體電子級(jí)多晶硅將實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),開(kāi)始供應(yīng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體硅片企業(yè),并開(kāi)始出口韓國(guó),產(chǎn)品質(zhì)量滿足40nm及以下極大規(guī)模集成電路用12英寸硅片制造需求。
業(yè)內(nèi)專家預(yù)計(jì),隨著國(guó)內(nèi)多晶硅片的逐漸突破,2020年國(guó)內(nèi)在這一領(lǐng)域有望擺脫進(jìn)口依賴。
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