光刻機是集成電路最具關(guān)鍵性的基礎(chǔ)裝備之一，全球只有3-4家廠商可以生產(chǎn)制造，中高端產(chǎn)品幾乎被國際廠商壟斷，要想解決我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的“卡脖子”問題，推動光刻機的國產(chǎn)化勢在必行，需要調(diào)動國家資本、產(chǎn)業(yè)資本和社會資本的共同參與。

日前，集成電路裝備及關(guān)鍵零部件企業(yè)華卓精科獲得渾由渾璞投資、中國國際金融股份有限公司和紅星美凱龍控股集團共計8700萬的戰(zhàn)略投資。其中，渾璞投資的投資金額為6600萬元。

與此同時，華卓精科發(fā)布公告，公司收到北京市經(jīng)濟和信息化委員會撥付的國家科技重大專項中央財政資金合計1.39億元。

華卓精科由科技部首批重點領(lǐng)域“超精密機械與測控創(chuàng)新團隊”負責(zé)人，中組部國家萬人計劃專家、清華大學(xué)機械工程系長聘教授、博士生導(dǎo)師，機械電子工程研究所所長朱煜教授于2012年創(chuàng)立，專注于集成電路裝備技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，在集成電路制造用前道光刻機的重要部件——雙工件臺的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化方面處于領(lǐng)先地位，是除世界光刻機龍頭——荷蘭ASML公司外全球第二家可以生產(chǎn)光刻機雙工件臺的企業(yè)。

華卓精科也是清華大學(xué)集成電路設(shè)備技術(shù)17年技術(shù)積累的產(chǎn)業(yè)化平臺，公司挾高精尖技術(shù)向下俯沖，在激光退火、硅片堆疊、掃描干涉光刻、平面光柵、高精密運動臺、靜電卡盤、隔振器等集成電路裝備和關(guān)鍵零部件領(lǐng)域處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。

光刻機被周光召先生譽為新時代“兩彈一星”般的“神器”和世界上最精密的儀器。而光刻機雙工件臺作為光刻機的兩大核心子系統(tǒng)，因要在最大加速度不小于30 m/s^2、最大速度不低于500m/s的工作狀態(tài)下，使運動誤差保持在2納米之內(nèi)，也就是人頭發(fā)絲直徑的四萬分之一，可以想象為兩架時速1000公里/小時的飛機在任意時刻的飛行位置偏差不超過一個微米。如此極端的性能指標(biāo)，使光刻機雙工件臺成為當(dāng)之無愧的“精密機械之王”，其制造也成為世界級難題。

華卓精科肩負雙工件臺國產(chǎn)化這一世紀挑戰(zhàn)，承接清華大學(xué)2001年以來在“863計劃”光刻機工件臺方面的核心技術(shù)，已申請發(fā)明專利231項，其中已授權(quán)中國發(fā)明專利139項、授權(quán)國際發(fā)明專利23項。華卓精科于2014年聯(lián)合清華大學(xué)成功推出了中國第一臺滿足65納米光刻機需求的雙工件臺樣機，現(xiàn)在正在向28納米制程的浸沒式光刻機雙工件臺這一世界級技術(shù)高地發(fā)起沖鋒。

渾璞投資是一家專注于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局的股權(quán)投資公司。此次領(lǐng)投華卓精科，是繼今年八月份領(lǐng)投全球領(lǐng)先的磁性材料和新一代磁存儲器刻蝕裝備企業(yè)——魯汶儀器后，在集成電路裝備領(lǐng)域的又一次重大布局。當(dāng)前，全球半導(dǎo)體進入第三次景氣周期，新一輪的晶圓廠建廠高峰期會帶來對設(shè)備的需求增長，集成電路裝備是行業(yè)景氣的最先受益者，因此當(dāng)前是布局集成電路裝備行業(yè)的黃金時期。