今天三星公司將會舉行Samsung Tech Day，其中宣布的重點包括了7nm EUV工藝、SmartSSD（FPGA SSD）、數據中心的QLC-SSD、256GB 3DS RDIMM內存，那么與我們關系最密切的莫過于7nm EUV工藝量產，三星表示7nm LPP對比現有的10nm FinFET工藝，可以實現提升40%面積能效、性能增加20%、功耗降低50%目標。

目前納米工藝推進遇到了極限問題，主要是由制造設備帶來，具體來說就是光刻機的分辨率制約，想要刻畫出精細、只有數納米寬度線條，對于光源聚集性能要求非常高。分辨率越高，刻畫的線條越精細越清晰。

但凡是光源總會有衍射問題，想要克服衍射問題，就必須使用波長越短的光來刻畫晶體管掩模。

很久以前用的是Hg光源，100-80nm工藝以后開始使用248nm的KrF光源，此后一直使用193nm的ArF光源，不過對于7nm以下工藝來說，需要用到全新的EUV光源，波長可以下降到只有13nm長，這被視為7nm工藝的重要技術組成部分。

目前三星宣布已經完成了整套7nm EUV工藝的技術流程開發以及產線部署，進入了可量產階段。三星表示7nm LPP工藝可以減少20%的光學掩模流程，整個制造過程更加簡單了，節省了時間和金錢，又可以實現40%面積能效提升、性能增加20%、功耗降低50%目標。

因此7nm EUV工藝才是半導體制造關鍵性節點，絕大部分半導體廠商都將會在此工藝上停留非常長的時間（喜歡改名字另當別論），往后5nm、3nm工藝攻堅難度更加大了，遇到是半導體材料物理極限，而非光源極限問題那么“簡單”。

三星還說7nm LPP工藝將會在韓國華城的S3工廠展開，2020年前再新開一條產線生產相關芯片，滿足市場所需。你猜哪一家產品會率先用上7nm EUV工藝？