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電子發(fā)燒友網(wǎng)>工業(yè)控制>集成電路銅線(xiàn)鍵合工藝技術(shù)詳解

集成電路銅線(xiàn)鍵合工藝技術(shù)詳解

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集成電路的分類(lèi) 集成電路的種類(lèi)相當(dāng)多,集成電路按制作工藝來(lái)分可分為三大類(lèi),即半導(dǎo)體集成電路、膜集成電路及混合集成電路。半導(dǎo)體集成電路有雙極型和場(chǎng)效應(yīng)
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詳解數(shù)字集成電路分類(lèi)是怎么分的?

、降低功耗和減少所占的PCB空間、提高系統(tǒng)的可靠性、可使電子系統(tǒng)的尺寸更小、性能更高和成本更低,同時(shí)整個(gè)系統(tǒng)的抗干擾特性與可靠度將提高。進(jìn)入20世紀(jì)80年代后,半導(dǎo)體集成電路工藝技術(shù)、支持技術(shù)
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集成電路883與集成電路883b到底有哪些區(qū)別呢

集成電路883與集成電路883b到底有哪些區(qū)別呢?
2021-11-01 07:05:09

集成電路制造技術(shù)的應(yīng)用

集成電路制造技術(shù)的應(yīng)用電子方面:摩爾定律所預(yù)測(cè)的趨勢(shì)將最少持續(xù)多十年。部件的體積將會(huì)繼續(xù)縮小,而在集成電路中,同一面積上將可放入更多數(shù)目的晶體管。目前電路設(shè)計(jì)師的大量注意力都集中于研究把仿真和數(shù)
2009-08-20 17:58:52

集成電路封裝技術(shù)專(zhuān)題 通知

`各有關(guān)單位:為貫徹落實(shí)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》,助推工業(yè)和信息化部“軟件和集成電路人才培養(yǎng)計(jì)劃”的實(shí)施,培養(yǎng)一批掌握核心關(guān)鍵技術(shù)、處于世界前沿水平的中青年專(zhuān)家和技術(shù)骨干,以高層次人才隊(duì)伍
2016-03-21 10:39:20

集成電路晶圓測(cè)試基礎(chǔ)教程ppt

` 集成電路按生產(chǎn)過(guò)程分類(lèi)可歸納為前道測(cè)試和后到測(cè)試;集成電路測(cè)試技術(shù)員必須了解并熟悉測(cè)試對(duì)象—硅晶圓。測(cè)試技術(shù)員應(yīng)該了解硅片的幾何尺寸形狀、加工工藝流程、主要質(zhì)量指標(biāo)和基本檢測(cè)方法;集成電路晶圓測(cè)試基礎(chǔ)教程ppt[hide][/hide]`
2011-12-02 10:20:54

集成電路電源芯片的分類(lèi)及發(fā)展

中用字母“IC”表示。由于電路元器件種類(lèi)繁多,隨著電子技術(shù)工藝水平的不斷提高,大量新的器件不斷出現(xiàn),同一種器件也有多種封裝形式,集成電路的芯片大致可以根據(jù)以下特征進(jìn)行分類(lèi)。(一)按功能結(jié)構(gòu)分類(lèi)
2018-10-18 14:54:28

集成電路的好壞怎么判斷?

隨著集成電路制造技術(shù)的進(jìn)步,人們已經(jīng)能制造出電路結(jié)構(gòu)相當(dāng)復(fù)雜、集成度很高、功能各異的集成電路。但是這些高集成度,多功能的集成塊僅是通過(guò)數(shù)目有限的引腳完成和外部電路的連接,這就給判定集成電路的好壞帶來(lái)不少困難。
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集成電路的種類(lèi)與用途相關(guān)資料推薦

集成電路是采用半導(dǎo)體工藝技術(shù),在硅基片上制作包括電阻、電容、三極管、二極管等元器件并具有某種電路功能的集成電路;膜集成電路是在玻璃或陶瓷片等絕緣物體上,以“膜”的形式制作電阻、電容等無(wú)源器件。無(wú)源元件
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集成電路的設(shè)計(jì)與概述

所提供的電路性能、單芯片集成度以及生產(chǎn)線(xiàn)產(chǎn)能的提高遠(yuǎn)遠(yuǎn)沒(méi)有被發(fā)揮出來(lái)。目前 集成電路設(shè)計(jì)能力只利用了集成電路加工工藝所創(chuàng)造的技術(shù)潛力的 1/3 左右。集成電路設(shè)計(jì)按照系統(tǒng)功能信號(hào)的特征可以分為模擬電路
2018-05-04 10:20:43

集成電路種類(lèi)用途

和混合集成電路三類(lèi)。半導(dǎo)體集成電路是采用半導(dǎo)體工藝技術(shù),在硅基片上制作包括電阻、電容、三極管、二極管等元器件并具有某種電路功能的集成電路;膜集成電路是在玻璃或陶瓷片等絕緣物體上,以“膜”的形式制作電阻
2018-11-23 17:08:47

集成電路芯片封裝技術(shù)教程書(shū)籍下載

集成電路芯片封裝技術(shù)》是一本通用的集成電路芯片封裝技術(shù)通用教材,全書(shū)共分13章,內(nèi)容包括:集成電路芯片封裝概述、封裝工藝流程、厚膜與薄膜技術(shù)、焊接材料、印制電路板、元件與電路板的連接、封膠材料
2012-01-13 13:59:52

集成電路芯片封裝技術(shù)知識(shí)詳解

集成電路芯片封裝技術(shù)知識(shí)詳解本電子書(shū)對(duì)封裝介紹的非常詳細(xì),所以和大家分享。因?yàn)樘螅瑳](méi)有上傳。請(qǐng)點(diǎn)擊下載。[此貼子已經(jīng)被作者于2008-5-12 22:45:41編輯過(guò)]
2008-05-12 22:44:28

集成電路芯片類(lèi)型和技術(shù)介紹

。另一種方法稱(chēng)為陰極濺射,其中來(lái)自由所需薄膜材料制成的陰極的原子沉積在位于陰極和陽(yáng)極之間的基板上。厚膜集成電路它們通常也被稱(chēng)為印刷薄膜電路。通過(guò)使用稱(chēng)為絲網(wǎng)印刷技術(shù)的制造工藝在陶瓷物質(zhì)上獲得所需
2022-03-31 10:46:06

集成電路設(shè)計(jì)基礎(chǔ).ppt(山東大學(xué)教程)

`由于器件的物理特性和工藝的限制,芯片上物理層的尺寸進(jìn)而版圖的設(shè)計(jì)必須遵守特定的規(guī)則。這些規(guī)則是各集成電路制造廠(chǎng)家根據(jù)本身的工藝特點(diǎn)和技術(shù)水平而制定的。因此不同的工藝,就有不同的設(shè)計(jì)規(guī)則。集成電路設(shè)計(jì)基礎(chǔ).ppt(山東大學(xué)教程)[hide][/hide]`
2011-11-22 16:19:02

CMOS數(shù)字集成電路是什么?CMOS數(shù)字集成電路有什么特點(diǎn)?

CMOS數(shù)字集成電路是什么?CMOS數(shù)字集成電路有什么特點(diǎn)?CMOS數(shù)字集成電路的使用注意事項(xiàng)是什么?
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COMS工藝制程技術(shù)集成電路設(shè)計(jì)指南

技術(shù)。CMOS集成電路設(shè)計(jì)手冊(cè)原書(shū)由淺入深介紹從模型到器件,從電路到系統(tǒng)的全面內(nèi)容,可作為CMOS基礎(chǔ)知識(shí)的重要參考書(shū)
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EMC設(shè)計(jì)、工藝技術(shù)基本要點(diǎn)和問(wèn)題處理流程

EMC設(shè)計(jì)、工藝技術(shù)基本要點(diǎn)和問(wèn)題處理流程推薦給大家參考。。
2015-08-25 12:05:04

LA76932彩電信號(hào)處理集成電路參數(shù)與手冊(cè)資料分享

,采用無(wú)需調(diào)整的中頻鎖相環(huán)和行頻鎖相環(huán),減少了外圍電路,提高了工藝技術(shù)和產(chǎn)品可靠性。內(nèi)置微處理器CPU可采用編程控制,通過(guò)內(nèi)部I/O接口對(duì)外圍電路起到控制作用。
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SMT定義及工藝技術(shù)簡(jiǎn)介

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2010-03-09 16:20:06

Sic mesfet工藝技術(shù)研究與器件研究

Sic mesfet工藝技術(shù)研究與器件研究針對(duì)SiC 襯底缺陷密度相對(duì)較高的問(wèn)題,研究了消除或減弱其影響的工藝技術(shù)并進(jìn)行了器件研制。通過(guò)優(yōu)化刻蝕條件獲得了粗糙度為2?07 nm的刻蝕表面;犧牲氧化
2009-10-06 09:48:48

TTL集成電路和CMOS電路有哪些區(qū)別

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2021-11-02 07:58:45

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2018-12-17 13:55:06

為什么要選擇標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝集成肖特基二極管?

隨著射頻無(wú)線(xiàn)通信事業(yè)的發(fā)展和移動(dòng)通訊技術(shù)的進(jìn)步,射頻微波器件的性能與速度成為人們關(guān)注的重點(diǎn),市場(chǎng)對(duì)其的需求也日益增多。目前,CMOS工藝是數(shù)字集成電路設(shè)計(jì)的主要工藝選擇,對(duì)于模擬與射頻集成電路來(lái)說(shuō),有哪些選擇途徑?為什么要選擇標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝集成肖特基二極管?
2019-08-01 08:18:10

什么是集成電路

什么是集成電路集成電路(integrated circuit)是一種微型電子器件或部件。采用半導(dǎo)體工藝,把一個(gè)電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線(xiàn)在一塊或幾塊半導(dǎo)體晶片上制作出來(lái),然后
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什么是集成電路

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什么是集成電路

自從人類(lèi)開(kāi)始使用電子設(shè)備以來(lái),電子世界經(jīng)歷了許多技術(shù)進(jìn)步。然而,集成電路 代表了這些技術(shù)發(fā)展中最重要和最具變革性的技術(shù)之一。集成電路不僅徹底改變了電子產(chǎn)品,而且永遠(yuǎn)改變了其發(fā)展方向。電子產(chǎn)品的小型化
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找了一圈,發(fā)現(xiàn)做線(xiàn)機(jī)的比較多,想知道做晶圓wafer bonding的中國(guó)廠(chǎng)家。
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2019-07-05 06:53:04

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有償求助本科畢業(yè)設(shè)計(jì)指導(dǎo)|引線(xiàn)鍵合|封裝工藝

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2018-01-02 16:40:28

芯片封裝技術(shù)各種微互連方式簡(jiǎn)介教程

芯片封裝技術(shù)各種微互連方式簡(jiǎn)介微互連技術(shù)簡(jiǎn)介定義:將芯片凸點(diǎn)電極與載帶的引線(xiàn)連接,經(jīng)過(guò)切斷、沖壓等工藝封裝而成。載帶:即帶狀載體,是指帶狀絕緣薄膜上載有由覆 銅箔經(jīng)蝕刻而形成的引線(xiàn)框架,而且芯片
2012-01-13 14:58:34

薄膜集成電路--薄膜電阻

應(yīng)用主要有降低信號(hào)電平、源于負(fù)載之間的匹配、 元器件隔離保護(hù)等應(yīng)品特點(diǎn):?采用半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn),圖形精度高? 寄生參數(shù)小、頻率特性穩(wěn)定?尺寸小,重量輕?表面貼裝易于集成產(chǎn)品設(shè)計(jì)規(guī)范:?電阻類(lèi)型:TaN
2023-03-28 14:19:17

請(qǐng)教腐蝕工藝的相關(guān)工藝流程及技術(shù)員的職責(zé)

請(qǐng)?jiān)敿?xì)敘述腐蝕工藝工段的工藝流程以及整個(gè)前道的工藝技術(shù)
2011-04-13 18:34:13

請(qǐng)問(wèn)集成電路的測(cè)試有什么技巧?

如何判定集成電路的好壞?集成電路的測(cè)試有什么技巧?
2021-04-14 06:51:19

請(qǐng)問(wèn)怎樣去設(shè)計(jì)一種模擬集成電路

模擬集成電路的基本原理和概念是什么?模擬集成電路有哪些新技術(shù)?怎樣去設(shè)計(jì)一種模擬集成電路
2021-06-22 08:16:49

集成電路芯片封裝技術(shù)知識(shí)詳解

集成電路封裝技術(shù)詳解包括了概述,陶瓷封裝,塑料封裝,金屬封裝,其它封裝等。
2008-05-12 22:41:56702

集成電路圓珠筆片級(jí)芯片封裝技術(shù)(WLCSP)

集成電路圓片級(jí)芯片封裝技術(shù)(WLCSP)及其產(chǎn)品屬于集成創(chuàng)新,是江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司結(jié)合了銅柱凸塊工藝技術(shù)及公司自身在封裝領(lǐng)域的技術(shù)沉淀,開(kāi)發(fā)出的區(qū)別于國(guó)外技
2009-12-14 09:51:5927

中芯國(guó)際90納米低功耗集成電路生產(chǎn)工藝技術(shù)

立足自主研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新,企業(yè)才有生命力。2005 年,中芯國(guó)際在成功開(kāi)發(fā)0.25 微米、0.18 微米、0.13微米集成電路生產(chǎn)工藝的基礎(chǔ)上,向90 納米國(guó)際主流技術(shù)發(fā)起挑戰(zhàn)。2006 年中芯國(guó)
2009-12-14 11:39:0034

集成電路的分類(lèi)

集成電路的分類(lèi) 1.按制造工藝和結(jié)構(gòu)分類(lèi)可分為:半導(dǎo)體集成電路、膜集成電路、混合集成電路。通常所說(shuō)的集成電路指的就
2009-03-09 14:44:546046

#硬聲創(chuàng)作季 #集成電路 集成電路制造工藝-09.3清洗技術(shù)-清洗技術(shù)

工藝制造工藝集成電路工藝
水管工發(fā)布于 2022-10-17 20:24:09

#硬聲創(chuàng)作季 #集成電路 集成電路制造工藝-10.2CMOS集成電路工藝流程

工藝制造工藝集成電路工藝
水管工發(fā)布于 2022-10-17 20:25:18

IC工藝技術(shù)問(wèn)題

IC工藝技術(shù)問(wèn)題    集成電路芯片偏置和驅(qū)動(dòng)的電源電壓Vcc是選擇IC時(shí)要注意的重要問(wèn)題。從IC電源管腳吸納的電流主要取決于該電壓值以及該IC芯片輸出級(jí)
2009-08-27 23:13:38785

中芯國(guó)際將45納米工藝技術(shù)延伸至40納米以及55納米

中芯國(guó)際將45納米工藝技術(shù)延伸至40納米以及55納米 上海2009年10月14日電  -- 中芯國(guó)際集成電路制造有限公司(“中芯國(guó)際”,紐約
2009-10-15 08:22:44793

什么是厚膜電路(厚膜集成電路)

什么是厚膜電路(厚膜集成電路) 用絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)等厚膜工藝在同一基片
2009-10-18 10:09:436449

厚膜集成電路,厚膜集成電路是什么意思

厚膜集成電路,厚膜集成電路是什么意思 用絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)等厚膜工藝在同一基片上制作無(wú)源網(wǎng)絡(luò),并在其上組裝分立的半導(dǎo)體器件芯
2010-03-20 16:17:26949

混合集成電路,混合集成電路是什么意思

混合集成電路,混合集成電路是什么意思 由半導(dǎo)體集成工藝與薄(厚)膜工藝結(jié)合而制成的集成電路。混合集成電路是在基片上用成膜方法制作厚
2010-03-20 16:19:024061

厚膜集成電路,什么是厚膜集成電路

厚膜集成電路,什么是厚膜集成電路 用絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)等厚膜工藝在同一基片上制作無(wú)源網(wǎng)絡(luò),并在其上組裝分立的半導(dǎo)體器件芯片或
2010-04-02 17:23:38556

混合集成電路,什么是混合集成電路

混合集成電路,什么是混合集成電路 由半導(dǎo)體集成工藝與薄(厚)膜工藝結(jié)合而制成的集成電路。混合集成電路是在基片上用成膜方法制作厚膜或
2010-04-02 17:25:45949

什么叫集成電路_集成電路詳解

什么是集成電路集成電路是什么?就是電路板上的那些小黑塊,有很多引腳,它的里面并不復(fù)雜,無(wú)非就是一些三極管組合在一起,僅此而已。
2011-10-26 17:17:1951

集成電路系統(tǒng)級(jí)封裝(sip)技術(shù)和應(yīng)用

由于集成電路設(shè)計(jì)水平和工藝技術(shù)的提高,集成電路規(guī)模越來(lái)越大,已可以將整個(gè)系統(tǒng)集成為一個(gè)芯片(目前已可在一個(gè)芯片上集成108個(gè)晶體管)。這就使得將含有軟硬件多種功能的電路
2011-12-29 15:28:5240

上海集成電路研發(fā)中心與Synopsys共同建立先進(jìn)工藝技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室

新思科技公司(Synopsys)與上海集成電路研發(fā)中心有限公司(ICRD)今日宣布: Synopsys與上海集成電路研發(fā)中心共同建立的“ICRD - Synopsys先進(jìn)工藝技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室”今日盛大成立,該實(shí)驗(yàn)室將致
2012-11-15 09:30:421030

集成電路制造工藝

集成電路制造工藝
2016-04-15 09:52:010

撓性電路板化學(xué)鎳鈀金工藝技術(shù)研究

撓性電路板化學(xué)鎳鈀金工藝技術(shù)研究
2017-01-22 20:56:130

IMT公司與陜西光電子集成電路先導(dǎo)技術(shù)研究院建立戰(zhàn)略合作關(guān)系,合力推動(dòng)光電子集成電路與MEMS工藝技術(shù)的融

美國(guó)最大的MEMS技術(shù)和制造服務(wù)提供商IMT公司日前宣布:公司已同總部位于西安的陜西光電子集成電路先導(dǎo)技術(shù)研究院(以下簡(jiǎn)稱(chēng)先導(dǎo)院)簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議,雙方將攜手推動(dòng)光電子集成電路技術(shù)研究和人才團(tuán)隊(duì)
2017-02-20 10:54:231586

大規(guī)模集成電路第2章_集成電路工藝基礎(chǔ)及版圖設(shè)計(jì)1

集成電路工藝的基礎(chǔ)和版圖設(shè)計(jì)
2017-07-18 08:43:380

集成電路工藝技術(shù)教程之半導(dǎo)體襯底的詳細(xì)資料說(shuō)明

本文檔的主要內(nèi)容詳細(xì)介紹的是集成電路工藝技術(shù)教程之半導(dǎo)體襯底的詳細(xì)資料說(shuō)明主要內(nèi)容包括了:1、集成電路發(fā)展歷程回顧 2、描述天然硅原料如何加工提煉成半導(dǎo)體
2018-11-19 08:00:0022

關(guān)于集成電路系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)技術(shù)以及應(yīng)用

由于集成電路設(shè)計(jì)水平和工藝技術(shù)的提高,集成電路規(guī)模越來(lái)越大,已可以將整個(gè)系統(tǒng)集成為一個(gè)芯片(目前已可在一個(gè)芯片上集成108個(gè)晶體 管)
2019-01-01 16:52:004699

集成電路的器件隔離 Device Isolation

集成電路制造需要某種隔離工藝將單個(gè)器件隔離開(kāi)來(lái)。因?yàn)榘雽?dǎo)體集成電路是在同一塊半導(dǎo)體硅片上,通過(guò)平面工藝技術(shù)制造許多元件和器件(如電阻、電容、二極管、三極管等),并按需要將它們連接在一起,形成具有一定功能的電路
2019-05-06 09:00:466727

關(guān)于華虹集團(tuán)集成電路制造工廠(chǎng)的介紹和說(shuō)明

華虹集團(tuán)作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的集成電路產(chǎn)業(yè)集團(tuán),目前制造工藝技術(shù)覆蓋0.5微米到28納米各技術(shù)節(jié)點(diǎn),專(zhuān)利申請(qǐng)量約1.1萬(wàn)項(xiàng),并擁有國(guó)家級(jí)集成電路研發(fā)中心。我們將不斷追求先進(jìn)工藝,提升和拓展特色工藝,擴(kuò)大制造規(guī)模,繼續(xù)為全球客戶(hù)提供各工藝節(jié)點(diǎn)和技術(shù)平臺(tái)一站式芯片制造的優(yōu)質(zhì)服務(wù)。
2019-10-18 11:25:3010895

集成電路工藝簡(jiǎn)析-單片工藝

,然后封裝在一個(gè)管殼內(nèi),使整個(gè)電路的體積大大縮小,引出線(xiàn)和焊接點(diǎn)的數(shù)目也大為減少。集成的設(shè)想出現(xiàn)在50年代末和60年代初,是采用硅平面技術(shù)和薄膜與厚膜技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。電子集成技術(shù)工藝方法分為以硅平面工藝為基礎(chǔ)的單片集成電路、以薄膜技術(shù)為基礎(chǔ)的薄膜集成
2020-03-27 16:45:073066

我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)進(jìn)入新一輪的高速發(fā)展期

經(jīng)過(guò)五年的發(fā)展,目前我國(guó)集成電路制造企業(yè)的工藝技術(shù)水平已提升至28納米,與全球先進(jìn)水平的差距逐漸縮小,設(shè)備材料國(guó)產(chǎn)化比例全面提升。與此同時(shí),我國(guó)的集成電路特色工藝水平和技術(shù)能力也大幅增強(qiáng),存儲(chǔ)器工藝技術(shù)研發(fā)取得一系列顯著進(jìn)展。
2020-07-27 09:35:191040

集成電路工藝基礎(chǔ)及版圖設(shè)計(jì)

集成電路的制造需要非常復(fù)雜的技術(shù),它主要由半導(dǎo)體物理與器件專(zhuān)業(yè)負(fù)責(zé)研究。VLSI設(shè)計(jì)者可以不去深入研究,但是有必要了解芯片設(shè)計(jì)中的工藝基礎(chǔ)知識(shí),才能根據(jù)工藝技術(shù)的特點(diǎn)優(yōu)化電路設(shè)計(jì)方案。對(duì)于電路和系統(tǒng)設(shè)計(jì)者來(lái)說(shuō),更多關(guān)注的是工藝制造的能力,而不是工藝的具體實(shí)施過(guò)程。
2021-04-09 14:18:540

集成電路制造的光刻與刻蝕工藝

光刻是集成電路工藝中的關(guān)鍵性技術(shù)。在硅片表面涂上光刻膠薄層,經(jīng)過(guò)光照、顯影,在光刻膠上留下掩模版的圖形。
2021-04-09 14:27:1963

CMOS集成電路的雙阱工藝簡(jiǎn)析

CMOS 集成電路的基礎(chǔ)工藝之一就是雙阱工藝,它包括兩個(gè)區(qū)域,即n-MOS和p-MOS 有源區(qū)
2022-11-14 09:34:516647

集成電路制造工藝有哪幾種?

早期的硅基集成電路工藝以 **雙極型工藝為主** ,不久之后,則以更易大規(guī)模集成的 **平面金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)工藝為主流** 。MOSFET由于具有高輸入阻抗、較低的靜態(tài)功耗等優(yōu)異性能,以及
2023-05-06 10:38:414062

集成電路按照實(shí)現(xiàn)工藝分類(lèi)可以分為哪些?

集成電路按照實(shí)現(xiàn)工藝分類(lèi)可以分為哪些? 集成電路 (Integrated Circuit,簡(jiǎn)稱(chēng)IC) 是一種半導(dǎo)體器件,通過(guò)將許多電子元器件集成在單一的芯片上,實(shí)現(xiàn)了高度的集成度和電路的升級(jí)
2023-08-29 16:28:551712

電子產(chǎn)品裝聯(lián)工藝技術(shù)詳解

電子產(chǎn)品裝聯(lián)工藝技術(shù)詳解
2023-10-27 15:28:22373

MEMS封裝中的封帽工藝技術(shù)

共讀好書(shū) 孫瑞花鄭宏宇吝海峰 (河北半導(dǎo)體研究所) 摘要: MEMS封裝技術(shù)大多是從集成電路封裝技術(shù)繼承和發(fā)展而來(lái),但MEMS器件自身有其特殊性,對(duì)封裝技術(shù)也提出了更高的要求,如低濕,高真空,高氣
2024-02-25 08:39:28171

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