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電子發燒友網>今日頭條>應用于后蝕刻TSV晶圓的表面等離子體清洗技術

應用于后蝕刻TSV晶圓的表面等離子體清洗技術

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2022-09-19 15:17:553386

精確跟蹤芯片蝕刻過程,用高分辨率光譜儀監測等離子體

在半導體行業,晶圓是用光刻技術制造和操作的。蝕刻是這一過程的主要部分,在這一過程中,材料可以被分層到一個非常具體的厚度。當這些層在晶圓表面蝕刻時,等離子體監測被用來跟蹤晶圓層的蝕刻,并確定等離子體
2022-09-21 14:18:37694

淺析多次等離子清洗對引線鍵合質量可靠性的影響

等離子清洗的反應機理如圖 1 所示,通常包括 以下過程:反應氣體被離解為等離子體;等離子體用于固體表面分子反應生成產物分子;產物分子與 殘余物脫離固體表面。由于等離子體中的電子、離 子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易與固 體表面發生反應,這種反應可分為物理的或化學的。
2023-02-10 13:50:39972

低溫等離子體技術的應用

近年來,等離子體技術的使用范圍正在不斷擴大。在半導體制造、殺菌消毒、醫療前線等諸多領域,利用等離子體特性的應用不斷壯大。CeraPlas? 是TDK 開發的等離子體發生器,與傳統產品相比,它可以在緊湊的封裝中產生低溫等離子體*1,并具有更低的功耗。它有望促進各種設備的開發,使離子技術更容易使用。
2023-02-27 17:54:38746

真空等離子清洗機的制造商正在引入氧和氫等離子體蝕刻石墨烯

等離子體和氫等離子體都可用于蝕刻石墨烯。兩種石墨烯氣體等離子刻蝕的基本原理是通過化學反應沿石墨烯的晶面進行刻蝕。不同的是,氧等離子體攻擊碳碳鍵后形成一氧化碳、二氧化碳等揮發性氣體,而氫等離子體則形成甲烷氣體并與之形成碳氫鍵。
2022-06-21 14:32:25391

轉瓶等離子玻璃清洗機的處理方法 提高表面活性明顯 金徠等離子清洗

如何直觀地識別旋轉瓶等離子玻璃清洗器對泳鏡表面的處理效果?讓我們看看等離子清洗機前后鏡片外觀達因值的變化。測量未經等離子清洗機處理過的鏡片的達因值??梢钥吹竭_因值小于 36 達因,鏡面能量
2022-06-23 10:38:24325

金徠:低溫等離子體清洗機在太陽能光伏玻璃中的應用

低溫等離子體清洗機可以提高含氟材料的親水性,改善含氟材料與太陽能封裝膜乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)的結合功能,為太陽能電池提供穩定有用的保護。 ???????經金徠?低溫等離子清洗機處理
2022-06-28 14:57:00368

低溫等離子體表面處理設備在各種材料領域的應用

等離子體清洗技術自問世以來,隨著電子等行業的快速發展,其應用范圍逐漸擴大,用于活化蝕刻等離子體清洗,以提高膠粘劑的粘接性能。
2022-07-04 16:09:18433

等離子清洗機頻率40KHz、13.56MHz、2.45GHz的區別與運用

腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,短時間的清洗就可以使有機污染物被徹底地清洗掉,同時污染物被真空泵抽走,其清洗程度達到分子級。
2022-07-08 10:17:512036

火焰等離子表面處理設備原理 火焰等離子設備表面改性技術

根據金徠的研究,火焰等離子設備的表面改性技術是一種非常先進的清洗技術,簡而言之就是等離子中各種活性粒子相互碰撞而使等離子與材料表面相互作用的過程。材料面層進一步提高了材料面層的性能。
2022-07-13 11:04:32759

等離子清洗處理后時效性能保留多久?金徠

等離子體表面處理具有時間敏感性,增加的表面能需要針對客戶特定的產品和工藝進行測試。遺憾的是,我們無法改善plasma清洗后的確切有效期。因為等離子體清洗是一個物理化學變化的過程,產品不同,工藝不同,產品暴露在空氣中,材料表面的活性分子容易與其他物質發生化學變化,所以金徠不能給出時效的標準答案。
2022-08-03 10:37:171501

等離子表面處理工藝特點及優勢

大家都知道,目前等離子表面處理工藝應用于LCD、LED、IC、PCB、SMT、BGA、引線框、平板顯示器的清洗蝕刻等領域。等離子表面清洗IC可以顯著提高導線耦合強度,降低電路故障的可能性。溢出
2022-09-27 10:05:05892

鋁合金表面處理工藝用等離子清洗機的優勢和特點

鋁金屬材料的等離子體表面處理可以消除原材料表面的微觀污染物、氧化物等成分。等離子清洗機因其工作效率高、操作方便等優點,在該領域得到了廣泛的應用。
2022-09-29 14:34:39582

等離子清洗應用于LCD顯示屏與柔性薄膜電路 提高材料表面

使用等離子清洗清洗液晶玻璃,可以去除雜質顆粒,提高材料表面能,產品良率提高一個數量級。同時,由于射流低溫等離子體是電中性的,在處理過程中保護膜、ITO膜和偏振濾光片都不會受到損傷。
2022-10-19 11:37:55453

等離子清洗機解決電纜電線噴碼的掉漆問題

等離子清洗機的出現解決了傳統電纜電線噴碼的問題。? 低溫等離子體主要用于轟擊材料表面。材料表面分子的化學鍵打開,與等離子體中的自由基結合,在材料表面形成極性基團。簡單來說,金徠等離子清洗機可以有效提高材料表面的附著力。電線電纜經過等離子清洗機處理后,噴涂印刷時油漆不會脫落。
2022-10-24 09:34:57421

常壓等離子體清洗技術的常見問題

金徠常壓等離子體技術與其他表面處理方法相比有哪些主要優點? 與其他表面活化方法相比,最主要優點是具有高效率。 等離子體系統能夠非常容易地集成到現有生產線里,它環保,節約空間,還具有低運行成本的優勢。
2022-10-26 09:48:12335

等離子體蝕刻率的限制

都使用Cl基蝕刻化學物質。當在等離子體放電中分解時,CCl為還原物質提供了來源,并用于去除表面氧化物和Cl,與下面的Al反應。
2023-06-27 13:24:11318

不銹鋼等離子清洗效果評估|鋼板表面油脂污染情況檢測方案表面油脂污染度清潔度檢測

使用德國析塔FluoScan 3D自動表面污染物檢測儀檢測不銹鋼等離子清洗表面的油污清洗,對不銹鋼等離子清洗效果進行評估。翁開爾是德國析塔中國獨家代理。
2022-06-27 11:48:08363

等離子體清洗工藝的關鍵技術 等離子體清洗在封裝生產中的應用

等離子體工藝是干法清洗應用中的重要部分,隨著微電子技術的發展,等離子體清洗的優勢越來越明顯。文章介紹了等離子體清洗的特點和應用,討論了它的清洗原理和優化設計方法。最后分析了等離子體清洗工藝的關鍵技術及解決方法。
2023-10-18 17:42:36447

無標記等離子體納米成像新技術

技術開發了一種基于局部表面等離子體成像的新成像技術,可以檢測直徑小于25納米的粒子。 研究人員將該技術稱為PANORAMA(超近場調制等離子體納米孔徑無標記成像)。與其他基于等離子體的成像技術相比,PANORAMA利用局域化等離子體效應
2023-11-27 06:35:23121

針對氧氣(O2)和三氯化硼(BCl3)等離子體進行原子層蝕刻的研究

基于GaN的高電子遷移率,晶體管,憑借其高擊穿電壓、大帶隙和高電子載流子速度,應用于高頻放大器和高壓功率開關中。就器件制造而言,GaN的相關材料,如AlGaN,憑借其物理和化學穩定性,為等離子體蝕刻
2023-12-13 09:51:24294

掀起神秘第四態的面紗!——等離子體羽流成像

01、重點和難點 等離子體通常被認為是物質的第四態,除了固體、液體和氣體之外的狀態。等離子體是一種高能量狀態的物質,其中原子或分子中的電子被從它們的原子核中解離,并且在整個系統中自由移動。這種狀態
2023-12-26 08:26:29209

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