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摘 要:主要研究了自動微器件裝配系統的定標技術和操縱策略兩個問題.在加入了尺度因子優化步驟之后,一種基于Tsai兩步法的自定標方法實現了亞微米級的定標精度,并且獲得了更加可信的定標角度參數.這種定標方法應用于微器件裝配系統中并可以實現高精度的微器件定位.除了精確定標之外,我們還應該選擇合適的工作環境來控制粘附力的大小來提高微器件操縱成功率,選擇合適的夾持和釋放方式來提高微器件操縱效率和釋放位置精度,選擇一種安全簡單的移動路徑來縮短移動時間.實驗表明,我們的自動微器件裝配系統可以在10s內完成一個器件的定位和移動操作,并實現數微米的釋放位置精度.
關鍵詞:微器件裝配;顯微鏡定標;尺度因子;相對濕度;操縱策略;操縱效率
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