資料介紹
電阻式傳感器就是利用一定的方式將被測量的變化轉(zhuǎn)化為敏感元件電阻值的變化,進而通過電路變成電壓或電流信號輸出的一類傳感器。可用于各種機械量和熱工量的檢測,它結(jié)構(gòu)簡單,性能穩(wěn)定,成本低廉,因此,在許多行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。
目前,常用的電阻傳感器主要有電阻應(yīng)變片、熱電阻、光敏電阻、氣敏電阻和濕敏電阻等幾大類。
電阻應(yīng)變片的類型及常用材料
根據(jù)應(yīng)變片的質(zhì)地,主要有金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩大類。
?金屬電阻應(yīng)變片
此類應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)形式有絲式、箔式和薄膜式三種。
1) 絲式應(yīng)變片
如圖2.1.1a所示,它是將金屬絲按圖示形狀彎曲后用粘合劑貼在襯底上而成,基底可分為紙基,膠基和紙浸膠基等。電阻絲兩端焊有引出線,使用時只要將應(yīng)變片貼于彈性體上就可構(gòu)成應(yīng)變式傳感器。它結(jié)構(gòu)簡單,價格低,強度高,但允許通過的電流較小,測量精度較低,適用于測量要求不很高的場合使用。
2) 箔式應(yīng)變片
該類應(yīng)變片的敏感柵是通過光刻、腐蝕等工藝制成。箔柵厚度一般在0.003-0.01mm之間,它的結(jié)構(gòu)如圖2.1.1b所示。箔式應(yīng)變片與絲式應(yīng)變片比較其面積大,散熱性好,允許通過較大的電流。由于它的厚度薄,因此具有較好的可繞性,靈敏度系數(shù)較高。箔式應(yīng)變片還可以根據(jù)需要制成任意形狀,適合批量生產(chǎn)。
3)金屬薄膜應(yīng)變片
它是采用真空蒸鍍或濺射式陰極擴散等方法,在薄的基底材料上制成一層金屬電阻材料薄膜以形成應(yīng)變片。這種應(yīng)變片有較高的靈敏度系數(shù),允許電流密度大,工作溫度范圍較廣。
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