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電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>寬溫度范圍SAW應變傳感器溫度與應變解耦研究

寬溫度范圍SAW應變傳感器溫度與應變解耦研究

2018-02-09 | rar | 0.61 MB | 次下載 | 3積分

資料介紹

  針對寬溫度范圍應變測量的溫度干擾問題,提出并研究了基于雙諧振器的聲表面波應變傳感器。理論上,結合微擾理論、有限元方法、有效介電常數法分析出雙諧振器頻率與應變、溫度的關系公式,進而推導出應變與溫度關于這兩組諧振器頻率變化的表達式。實驗上,搭建寬溫度范圍的實驗平臺,在Y+340切向的石英基片上制作該傳感器芯片,測得傳感器芯片在30℃~180℃下的頻率響應,將測得的諧振器頻率代入表達式計算得到溫度與應變值,與實驗中參考溫度與應變的值基本吻合。

寬溫度范圍SAW應變傳感器溫度與應變解耦研究

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