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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>顯示及光電>半導體激光器陣列隔離槽的濕法腐蝕

半導體激光器陣列隔離槽的濕法腐蝕

2010-11-30 | rar | 855 | 次下載 | 3積分

資料介紹

摘要:研究了幾種腐蝕液對半導體激光器陣列外延材料的腐蝕過程,其中HF(40%)/CrO3(33wt%)腐蝕液比較適合,用掃描電子顯微鏡(SEM)對其腐蝕情況進行了分析,并給出了利用這種腐蝕液進行腐蝕的半導體激光器陣列隔離槽的圖像.通過調(diào)節(jié)HF/CrO3腐蝕液的體積比(從0102到012),確定了AlxGa1-xAs組分漸變材料的腐蝕條件(室溫23℃,腐蝕時間4min)以及最佳配比(體積比為011).利用這種腐蝕液得到的腐蝕圖形可以滿足激光器陣列的要求.
關鍵詞:化學濕法腐蝕;半導體激光器陣列;掃描電子顯微鏡
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