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針對麥克風產(chǎn)品開發(fā)成本過高問題，對麥克風的制造工藝進行了研究，提出了一種用仿真代替實驗的方法，利用IntelliSuite軟件中的Blueprint設(shè)計麥克風制作過程巾所使用的掩膜版圖，再利用IntelliSuite軟件中IntelliFah模塊對器件進行了微電容式麥克風的工藝流程仿真，仿真出麥克風器件，再利用IntelliSuite軟件中的3D BUILDER，TEM兩個子模塊，仿真得到了微機械電容式麥克風的靈敏度、吸合電壓以及固有頻率等參數(shù)，該仿真過程得到的相關(guān)參數(shù)能夠為微機械電容式麥克風性能的佐證提供參考，并指導學者對微電容式麥克風產(chǎn)品的開發(fā)與設(shè)計過程。分析結(jié)果表明，此過程能夠代替實際的開發(fā)的制造過程，達到節(jié)約產(chǎn)品開發(fā)成本的目的。
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