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微光學(xué)與微電子光學(xué)裝備研制是中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所的重點學(xué)科之一，不僅擁有
一支總體設(shè)計水平高，光、機、電配套，積累了豐富經(jīng)驗的科研隊伍，還擁有一支實力雄厚的試制加工、工藝和測試力量，為研發(fā)、生產(chǎn)和拓展微電子裝備技術(shù)領(lǐng)域奠定了堅實的基礎(chǔ)。該所在充分發(fā)揮多年從事微細加工光學(xué)專用設(shè)備產(chǎn)品的攻關(guān)與研制的技術(shù)優(yōu)勢的同時，堅持走自主創(chuàng)新之路，加強核心技術(shù)、共性技術(shù)和關(guān)鍵部件的自主創(chuàng)新，重視科技成果的應(yīng)用和轉(zhuǎn)化，著力把自主創(chuàng)新作為培育新的經(jīng)濟增長點和提升核心竟爭力的根本點。近期成功研發(fā)的
URE-2000 系列紫外深度光刻機，產(chǎn)品以其特、新、優(yōu)贏得了社會的贊賞，成為市場倍受歡迎的微細加工光刻設(shè)備，項目榮獲第二屆（2007 年度）中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎。
一支總體設(shè)計水平高，光、機、電配套，積累了豐富經(jīng)驗的科研隊伍，還擁有一支實力雄厚的試制加工、工藝和測試力量，為研發(fā)、生產(chǎn)和拓展微電子裝備技術(shù)領(lǐng)域奠定了堅實的基礎(chǔ)。該所在充分發(fā)揮多年從事微細加工光學(xué)專用設(shè)備產(chǎn)品的攻關(guān)與研制的技術(shù)優(yōu)勢的同時，堅持走自主創(chuàng)新之路，加強核心技術(shù)、共性技術(shù)和關(guān)鍵部件的自主創(chuàng)新，重視科技成果的應(yīng)用和轉(zhuǎn)化，著力把自主創(chuàng)新作為培育新的經(jīng)濟增長點和提升核心竟爭力的根本點。近期成功研發(fā)的
URE-2000 系列紫外深度光刻機，產(chǎn)品以其特、新、優(yōu)贏得了社會的贊賞，成為市場倍受歡迎的微細加工光刻設(shè)備，項目榮獲第二屆（2007 年度）中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎。
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