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高壓整流電路由高頻高壓硅堆、高壓濾波電容器、保護電阻及取樣電路組成。由于經高壓變壓器升壓后的電壓具有較高的頻率，所以選用高頻高壓快速整流硅堆以滿 足高頻高壓整流的需要。濾波電容器選用高壓聚苯乙烯電容器，這種電容器具有較小的tgδ及高頻性能，對電源的輸出特性影響小。為有效地限制短路電流及電源 內部過電壓的限流電阻和保護電阻，均采用具有熱性能穩定、自感小、通流容量大，具有較強的耐受過電壓、電流沖擊能力的實體電阻。取樣電路中的高壓取樣信號 由精密電阻分壓器獲得，分壓器由精密線繞無感電阻制成，頂部加裝屏蔽電極，保證取樣電壓的穩定。電子束流取樣亦通過精密無感線繞電阻制成，兩種取樣電阻均 放在電磁屏蔽盒里，防止干擾信號進入控制電路
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