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硅基MEMS振蕩器的頻率溫度系數高達-30 ppm/℃，是石英晶體振蕩器的100倍以上，因此必須進行頻率溫度補償。靜電反饋是一種低功耗補償技術，但是靜電力小，對于頻率較高的振蕩器效果不理想。設計了一種具有高Q值的I2BAR結構的高頻振蕩器，通過優化振蕩結構、制作納米尺度間隙、采用高摻雜襯底來提高靜電反饋的作用。建立了器件的機電耦合解析模型，并根據器件的物理結構和尺寸建立了包含寄生效應的等效電學模型，進行PSpice仿真。實驗測得振蕩器在30 Pa氣壓下具有48 000的Q值，當電壓從IV增加到25 V，頻率變化-1 194 ppm，頻率溫度特性為-14 ppm／℃，表明通過靜電反饋能夠補償85℃范圍內溫度變化引起的頻率偏移。
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