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介紹了一種采用正交解碼計(jì)數(shù)電路HCTL-2032的位移測(cè)量?jī)x的設(shè)計(jì)，其中的2個(gè)光柵傳感器輸出的信號(hào)通過(guò)硬件電路分別進(jìn)行辨向和計(jì)數(shù)，再使用單片機(jī)對(duì)計(jì)數(shù)信號(hào)進(jìn)行處理，能可靠對(duì)X-Y工作臺(tái)在坐標(biāo)X和坐標(biāo)Y方向上的位移分別進(jìn)行測(cè)量，該儀器的分辨率為0.5μm，精度可優(yōu)于±1μm，具有工作可靠、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于調(diào)試和擴(kuò)展等特點(diǎn)。
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