資料介紹
刻蝕
?光刻就是在光刻膠上形成圖形
?下一步就是將光刻膠上的圖形通過刻蝕轉移到光刻膠下面的層上
?刻蝕工藝分為濕法和干法
??刻蝕的品質
?刻蝕的速率,即單位時間刻蝕的厚度
?刻蝕速率的均勻性
?選擇比,即對不同材料刻蝕速率的比率
?鉆刻,即對光刻膠下材料的側向刻蝕
?光刻就是在光刻膠上形成圖形
?下一步就是將光刻膠上的圖形通過刻蝕轉移到光刻膠下面的層上
?刻蝕工藝分為濕法和干法
??刻蝕的品質
?刻蝕的速率,即單位時間刻蝕的厚度
?刻蝕速率的均勻性
?選擇比,即對不同材料刻蝕速率的比率
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