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實施半導體分立器件特性參數分析的最佳工具之—是數字源表(SMU)。數字源表可作為獨立的恒壓源或恒流源、伏特計、安培計和歐姆表，還可用作精密電子負載，其高性能架構還允許將其用作脈沖發生器、波形發生器和自動電流-電壓(I-V)特性分析系統，支持四象限工作。解決了傳統多臺測試儀表之間編程、同步、接線繁雜及總線傳輸慢等問題。
常見測試
半導體分立器件包含大量的雙端口或三端口器件，如二極管、晶體管、場效應管等。直流I-V曲線是表征微電子器件、工藝及材料特性的基石。分立器件的種類繁多，引腳數量及待測參數各不相同。除此以外，新材料和新器件對測試設備提出了更高的要求，要求測試設備具備更高的低電流測試能力，且能夠支持各種功率范圍的器件。
1、二極管特性的測量與分析
2、雙極型晶體管BJT特性的測量與分析
3、MOSFET場效應晶體管特性的測量與分析
4、MOS器件的參數提取
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