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電子發燒友網>電子資料下載>存儲器技術>自旋閥結構薄膜及其自由層的特性研究

自旋閥結構薄膜及其自由層的特性研究

2009-12-14 | rar | 455 | 次下載 | 5積分

資料介紹

自旋閥結構薄膜及其自由層的特性研究
劉 鵬
(清華大學微電子學研究所,北京,100084)
摘 要:基于自旋閥結構的磁傳感器因其優良的性能,在傳感器家族中具有越來越重要的地位。在自旋閥磁傳感器的研制過程中,自旋閥薄膜的制備與性能優化是其中最為重要的一個環節。具有優良特性的自旋閥薄膜是制造高性能自旋閥磁傳感器的重要基礎。本文介紹了自旋閥薄膜的特點和性能參數,介紹了自由層對自旋閥性能的影響,并介紹了如何通過改進自由層結構對自旋閥薄膜的性能進行優化。
關鍵詞:自旋閥 自由層 磁電阻率 矯頑力
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