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電子發燒友網>電子資料下載>絕緣資料|化工資料>低能電子束照射接地絕緣薄膜的負帶電過程

低能電子束照射接地絕緣薄膜的負帶電過程

2009-10-20 | rar | 344 | 次下載 | 3積分

資料介紹

低能電子束照射接地絕緣薄膜的負帶電過程:為揭示低能電子束照射接地絕緣薄膜的負帶電過程及其機理,建立了同時考慮電子散射與電子輸運的計算模型,綜合Monte Carlo方法和有限差分法進行了數值模擬,獲得了內部空間電荷、泄漏電流和表面電位隨電子束照射的演化規律2 結果表明,入射電子因遷移、擴散效應會超越通常的散射區域產生負空間電荷分布,并經過一定的渡越時間后到達接地基板,形成泄漏電流,負帶電暫態過程則隨著泄漏電流的增加而趨于平衡2 在平衡狀態下,泄漏電流隨電子束能量和電流而增大;薄膜凈負電荷量和表面電位隨膜厚而增加、隨電子遷移率的增大而降低,隨著電子束能量的變化均會出現最大值。
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