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構建組合服務的形式化模型是對其進行驗證的前提與基礎，然而缺乏統一的構建框架使得建模過程變得難以把握且無法實現自動化。通過對確定型有限自動機的擴展，建立了用于描述OWL-S過程模型的有限遷移系統——服務過程自動機，為組合服務的形式化建模提供了統一框架和自動化基礎。同時，通過分析服務過程自動機的可接受位置及其在組合過程中可能產生的約束，將相容性劃分為三個等級，從而能夠在不同強度的可靠性要求下進行組合服務的驗證工作。
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