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分析和探討了為獲取被加工材料穩定的超精密表面所涉及的幾個關鍵技術問題,
包括超精密加工機床、刀具和環境條件對表面的影響以及超高精密表面的分析測試等幾個方
面。簡述了加一機理和各環節
一
誤差補償, 并展望了這一研究領域的未來。
包括超精密加工機床、刀具和環境條件對表面的影響以及超高精密表面的分析測試等幾個方
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一
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