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      標簽　>　刻蝕工藝

      刻蝕工藝

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      2023-12-06 標簽：半導體制造技術刻蝕工藝 7839 0

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      刻蝕工藝主要分為哪幾種類型 刻蝕的目的是什么？

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      在半導體前端工藝第三篇中，我們了解了如何制作“餅干模具”。本期，我們就來講講如何采用這個“餅干模具”印出我們想要的“餅干”。這一步驟的重點，在于如何移除...

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      濕法刻蝕步驟有哪些

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      中國研發團隊在SOT-MRAM取得重要進展

      據“中科院微電子研究所”消息，為了更好地解決SOT-MRAM的刻蝕技術難題以實現SOT-MTJ的高密度片上集成，同時研究不同的刻蝕工藝對器件磁電特性的影...

      2023-03-10 標簽：集成電路半導體刻蝕工藝 1066 0

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      原沸石是非結晶的，如粉末 X 射線衍射 (XRD) 圖案所示。掃描電子顯微鏡 (SEM) 和透射電子顯微鏡 (TEM) 圖像顯示，原沸石是大小約為5-2...

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      泛林集團推開創性的選擇性刻蝕解決方案 加速實現3D

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      2022-01-25 標簽：刻蝕工藝光刻蝕 917 0

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      本文在淺溝槽隔離刻蝕過程中發現，當刻蝕腔室上石英窗口的溫度超過85℃時，刻蝕終止出現在300mm晶圓的中心。我們認為刻蝕終止的原因是由于某些低揮發SiO...

      2012-05-04 標簽：STI刻蝕工藝 3445 0

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