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DMD是一種整合的微機電上層結構電路單元，利用COMS SRAM記憶晶胞所制成。DMD上層結構的制造是從完整CMOS內存電路開始，再透過光罩層的使用，制造出鋁金屬層和硬化光阻層交替的上層結構

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