1?引言
現在，壓力傳感器是典型的汽車傳感器，它廣泛地應用在汽車上。汽車壓力傳感器的歷史開始于1979年，用于引擎燃燒控制的多種絕對壓力傳感器。隨后，它被廣泛地用于高壓場合，如懸掛壓力探測和空調制冷壓力探測。在引入ＯＢＤ（車載自動診斷系統）后，壓力傳感器也擴展到了低壓場合，如揮發的汽油泄漏探測。現在，壓力傳感器更進一步地擴展到了高壓場合，如汽油燃燒噴射和柴油共軌燃燒噴射系統。顯然，壓力傳感器在汽車上有廣闊的發展前景。
2?工作原理部分
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壓力傳感器可以廣義地分為三類：壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。???
下面，本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，再介紹應用于汽車的MEMS技術智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。?
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2.1壓阻式壓力傳感器
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壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件，它是基于壓阻效應工作的。所謂壓阻元件實際上就是指在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻，當它受外力作用時，其阻值由于電阻率的變化而改變。擴散電阻正常工作時需依附于彈性元件，常用的是單晶硅膜片。
圖1是壓阻式壓力傳感器的結構示意圖。壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結構，封裝在外殼內。在一塊圓形的單晶硅膜片上，布置四個擴散電阻，兩片位于受壓應力區，另外兩片位于受拉應力區，它們組成一個全橋測量電路。硅膜片用一個圓形硅杯固定，兩邊有兩個壓力腔，一個和被測壓力相連接的高壓腔，另一個是低壓腔，接參考壓力，通常和壓大氣相通。當存在壓差時，膜片產生變形，使兩對電阻的阻值發生變化，電橋失去平衡，其輸出電壓反映膜片兩邊承受的壓差大小。
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2.2?MEMS技術的智能化硅壓阻傳感器工作原理
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為了將壓力信號轉化為電信號，采用應變原理將惠斯頓檢測電橋通過MEMS技術制作在單晶硅片上，使得單晶硅片成為一個集應力敏感與力電轉換為一體的敏感元件。如圖2所示。
當硅芯片受到外界的應力作用時,硅應變電橋的橋臂電阻將產生變化,一般都為惠斯頓電橋檢測模式。如圖3所示。
其輸出電壓表示為：
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Vo=VBΔR/R(R1=R2,R3=R4,ΔR1=ΔR2,ΔR3=R4)
因為電阻的變化直接與應力P有關,則：
Vo=SPVB±Vos
式中：Vo為輸出電壓，mV；S為靈敏度，mV/V/Pa；P為外力或應力，Pa；VB為橋壓，V；Vo為零位輸出，mV。
單一的硅片芯片只能作為一個檢測單元的一部分無法獨立完成信號的轉換,所以必須有特定的封裝使其具備壓力檢測的能力。將圖2中的硅片芯片與PYREX玻璃環靜電封接在一起。PYREX玻璃環作為硅芯片的力學固定支撐彈性敏感元件并且使硅芯片與封裝絕緣,PYREX玻璃環的孔恰好成為了傳感器的參考壓力腔體和電極引線腔體。其結構如圖4所示。圖4的敏感芯體封接在金屬螺紋底座上形成進壓的腔道后，成為一個可安裝的壓力測量前端,見圖5。此封裝技術可以承載至少15MPa的壓力,若經特殊處理可承載100MPa的壓力。
通過靜態特性測試，MEMS技術的智能化硅壓阻傳感器的技術指標如下：
重復性小于±0.2%滿量程
遲滯小于0.1%滿量程
非線性小于±0.1%滿量程
靈敏度為0.02V/kpa
該傳感器的分辨率為100pa
該傳感器的過載能力達200%
而普通壓阻式壓力傳感器（如HZ-PRC-802型）技術指標：測量精度為0.5%（包含線性、重復性、遲滯指標）
靈敏度為±0.02%FS/℃