電感式壓力傳感器工作原理
電感式壓力也稱變磁阻式壓力傳感器,它是在壓力作用下使銜鐵他移(見圖7—16)使線圈的電感發生變化而工作的。根據其結構形式的不同,可以分為變閉隙式和螺管式兩種。
圖7—16為變間隙電感式壓力傳感器原理圖。它由鐵芯、銜鐵和線圈組成。線圈繞在鐵芯上,鐵芯和銜鐵都由硅鋼片以玻莫合金等導磁材料制成,可以是整體的,也可以是迭片的、銜鐵與鐵芯之間的氣隙距離為d,由物理學可知,此線圈的電感為
當被測壓力p作用于銜鐵上,他之移動對,氣隙距離d改變,氣隙中的磁阻發電變比。從小引起線圈電感的改變。因此,可以通過測量線湖電感的哎化米確定壓力的大小。
在線圈的中心部分插入一個鐵芯,就成了螺管式電感傳感器,如圖7—17所示。當鐵芯在被測壓力p作用下沿抽向移時,線圈的電感就發生變化。
將兩只簡單電感器完全劉稱配置,臺用一個活動銜鐵(或鐵芯),便構成了改動式電感傳感器,如圖7一18所示。其中(a)為變間隙式差動電感壓力傳感器的原理圖; (b)為螺管式差動電感壓力傳感器的原理圖。當銜鐵〔或鐵芯)處于中間位置時,兩線圈的電感相等,l1=l2,負載電阻zl上沒電流通過。當銜鐵移動時。一個電感器的氣隙增大,另一個則礎小,從而使一個線國的電感值減小,而另一個增大,即l1不等l2,于是在負載電阻zl 上就有電流,而有電壓輸出。銜鐵移動的方向相反,輸出電壓的極性也反向。這樣就可根據輸出電壓的大小和極性確定被測壓力的大小及方向(即正壓或負壓)。
差動式與簡單的電感傳感器相比有許多優點,它可提高線性墳、靈敏度,減小環境溫度變動引起的誤差等等.
壓力傳感器的四種類型
壓力傳感器分為四種型號,即 電阻 應變式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、壓電式壓力傳感器和電感式壓力傳感器。其中:
電阻應變式壓力傳感器,主要是通過電阻應變片感應傳感器內的彈性敏感元件在外壓作用下的變形來實現工作的。此類壓力傳感器有分為膜片式壓力傳感器、膜片-應變筒式壓力傳感器和應變筒式壓力傳感器三種,其中,膜片式壓力傳感器主要是在低壓力測量中應用,膜片-應變筒式壓力傳感器主要是在中等壓力測量中應用,應變筒式壓力傳感器則主要是在高壓力測量時使用;
壓阻式壓力傳感器,主要采用了集成電路擴散工藝制作電阻感應裝置,再加上使用更加靈敏的硅片作為彈性敏感元件,其他與電阻應變式壓力傳感器類似。此類壓力傳感器具有較高的靈敏度和測量精度的特點,另外就是其結構較為簡單,為傳感器的微型化提供了方便。但是此類壓力傳感器具有較多的缺點,如測量范圍小、容易受到測量環境影響等;
壓電式壓力傳感器,主要是應用了壓電材料的特有性能——壓電效應。此類壓力傳感器的優缺點也較為明顯,優點是其環境適應能力較強,可以在惡劣的環境中正常工作,而且溫度感應較為靈敏;缺點是其低頻性能較差,而且傳感器在使用過程中出現故障后較難維修;
電感式壓力傳感器,其實就是將測量的壓力的變化量轉換為對應的電感變化量,然后反應出來。此類壓力傳感器靈敏度極高,而且傳感器內部的壓力變換器的線性得到了較大的改善,使其工作更加可靠。